198230. lajstromszámú szabadalom • Vákuumgőzölögtető ber. vékonyrétegek felvitelére
19 HU 198230 B 20 ahol a 45 lyuk alakja megfelel a vékonyréteg konfigurációjának, átmérője pedig egyenlő a 4 csővezetékével. A 14. ábrán bemutatott gőzölögtetö berendezés következőképpen működik. A 2 felgőzölendő anyagot a porózus 53 betét 54 vájatába tesszük. A vákuumkamra leszívása után felmelegitjük az 1 tégelyt a porózus 53 betéttel és az abban lévő 2 felgózölendó anyaggal együtt, amely 2 felgőzölendő anyag ennek során megolvad és behatol az 53 betét pórusaiba. Mivel az 53 betét nyitott pórusainak térfogata, az anyag teljes egészében az 53 betét pórusaiba kerül, majd az 53 betét felszínére kerül, miután a felszínen lévő anyag elgőzölgött. Az elgőzölgótt anyag a 4 csővezetéken keresztül a 6 hordozó felé mozog. Az 53 betét nagy elgőzölgési felületet és ennek következtében stabil felgőzölési sebességet biztosit kis mennyiségű 2 felgózölendó anyag esetén is. Az 53 betét teljes felületéről egyenletesen elgőzölgő 2 felgőzölendő anyag ezen kívül a teljes keresztmetszeten egyenletes intenzitású áramot képez, ami szükséges a 4 csővezetékből kilépő irányított 7 gőzáram intenzitásának biztosításához. A vákuumgözölés útján túlnyomórészt drága anyagú (például arany, ezüst, platina, palládium) vékonyrétegeket felvivö gőzölögtető berendezés felhasználható az elektronikában, a rádiótechnikában, elektrotechnikában, optikában, akusztikában integrált áramkörök, URH-sévvezetékek előállításánál, rádiótechnikai készülékek alkatrészeinek, nyomtatott áramköri lapok és fóliaszalagkábelek fémezésénél és optikai bevonatok felvitelénél. SZABADALMI IGÉNYPONTOK 1. Vákuumgőzölögtető berendezés vékonyrétegek felvitelére, amelynek felgőzölendő anyagot tartalmazó, és hevitövel ellátott tégelye van, amely összeköttetésben áll a felgózölendó anyag irányított gózáramát képező eszközzel, azzal jellemezve, hogy irányított gőzáram (7) képzésére szolgáló eszköz keresztirányú szimmetriasikkal (5) kialakított csővezeték (4), amelynek vége a tégelyben (1) van. 2. Az 1. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a csővezeték (4) a hossza mentén változó keresztmetszettel van kialakítva. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a csővezeték (4) középső részén legalább egy gyűrű alakú vájat (14) van kialakítva. 4. Az 1-3. igénypontok bármelyike szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a csővezetékben (4) .az irányított gőzáram (7) intenzitás-eloszlását korrigáló eszköz van elrendezve. 5. A 4. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy az intenzitás eloszlását korrigáló eszköz lyukkal (16) ellátott, a csővezetékben (4) rögzített diafragma (15), amely a csővezeték (4) szimmetriasíkjában (5) van elhelyezve. 6. Az 5. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy az intenzitás-eloszlást korrigáló eszköz egy további, lyukkal (16) ellátott diafragmát (20) tartalmaz, ahol a két diafragma (15, 20) azonos kialakítású és egymás alatt köztük réssel van elhelyezve és a lyukak (16) kerületén össze van kötve, és a csővezeték (4) két azonos, egymástól réssel elválasztott részből (17, 18) áll, a résben vannak a diafragmák (15, 20), amelyek összeköttetésben állnak a csővezeték (4) megfelelő részeivel (17, 18). 7. Az 5. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a diafragmán (15) lévő lyuk (16) alakja két, kisebb felületével egymásnak fordított kúp (24, 25). 8. A 4. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy az intenzitás-eloszlást korrigáló eszköz két azonos, gyűrű alakú hasítékkal (30, 31) ellátott diafragma (28, 29), amelyek a csővezeték (4) végein, annak szimmetriasíkjától (5) egyenlő távolságra vannak. 9. A 4. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy az intenzitás-eloszlást korrigáló eszköz a csővezetékben (4), a szimmetriasikban (5) rögzített, több lyukkal (39) ellátott diafragma (38), ahol a lyukak (39) geometriai tengelyei (40) egymással és a csővezeték (4) geometriai tengelyével (41) meghatározott szögeket (u, ß) bezáróan vannak elrendezve. 10. Az 1-9. igénypontok bármelyike szerinti berendezés azzal jellemezve, hogy a csővezetékben (4) az irányított gőzáram (7) alakját korrigáló eszköz van elhelyezve. 11. A 10. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy az irányított gőzáram (7) korrigálását végző eszköz két, lyukakkal (45, 46) ellátott azonos diafragma (43, 44), amelyeknek alakja megfelel a felgőzölt réteg konfigurációjának és amelyek a csővezeték (4) végeire, a szimmetriasiktól (5) egyenlő távolságra rögzítve vannak. 12. A 10. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy az irányított gőzáram (7) alakjának korrigálását végző eszköz a csővezeték (4) végeire, annak szimmetriasikjától (5) egyenlő távolságra rögzített két azonos rátét (47), amelyekben a felgőzölendő réteg konfigurációjának megfelelő profilírozott kivágások (48) vannak. 13. Az 1-3. igénypontok bármelyike szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a csővezeték (4) belső felületének legalább a középső része a felgőzölendő anyaggal (2) nedvesíthető bevonattal (50) van ellátva. 14. Az 5-9. vagy 11. igénypontok bármelyike szerinti berendezés, azzal jellemezve, 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 12
