198230. lajstromszámú szabadalom • Vákuumgőzölögtető ber. vékonyrétegek felvitelére
((9) Országkód: HU SZABADALMI LEÍRÁS (11) Lajstromszám: 198230 B --------------------------------------------------------------------------(51) Int. Cl.4 (22) Bejelentés napja: 1985.04.24. (21) (3129/85) C 23 C 14/34 (86) PCT (SU85J00033 (87) WO 86/00092 (30) Bejelentés elsőbbsége: (3753279) 1984.06.12. SU MAGYAR KÖZTÁRSASÁG (40) ORSZÁGOS (43) TALÁLMÁNYI HIVATAL <45> Közzététel napja: 1987.10.28. Megjelent: 1990.02.28. Í,<CÍ óm Megadás meghirdetésének dátuma a Szabadalmi Közlönyben: 1989.11.28. (72) Feltalálók: LEVCSENKO Georgij Tyimofejevics, RADZIKOVSZKIJ Alexandr Nyikolajevics, Kijev, Su (73) Szabadalmas: Kijevszkij Politechnyicseszkij Insztitut imeni 50-letija Velikoj Oktyabrszkoj S zocialisztyicseszko j Revoljucii, Kijev, SU (54) VÁKUUMGÖZÖLÖGTETŐ BERENDEZÉS VÉKONYRÉTEGEK FELVITELÉRE (57) KIVONAT A találmány tárgya vákuumgözölögtető berendezés vékonyrétegek felvitelére, amelynek felgőzölendő anyagot (2) tartalmazó tégelye (1) van, amely hevitövel (3) van ellátva és a felgözölendó anyag (2) irányított gőzáramát (7) képező eszközzel van kapcsolatban. A találmány lényege, hogy az irányított gőzáram (7) képzésére szolgáló eszköz keresztirányú szimmetriasíkkal (5) kialakított csővezeték (4), amelynek vége a tégelyben (1) van. A leírás terjedelme: 12 oldal, 6 rajz, 14 ábra HU 198230 B
