197627. lajstromszámú szabadalom • Berendezés szilárd felületű minták profil magasságának mérésére

197627

rolt zárt tér van, a vákuumedény (37) közepéhez előnyösen alulról vákuumzáró és íorgat-11

ható csőcsatlakozón (38) át vákuumcső (39) csatlakozik. (4. ábra)

12

2 lap rajz, 9 ábra

Int.CI4 G Ol B 11/30

i. ábra

28

20

2.ábra

3. ótaro

7