197627. lajstromszámú szabadalom • Berendezés szilárd felületű minták profil magasságának mérésére
(19) HU MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY (22) A bejelentés napja: 84.12.06. (21) 4530/84 ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL (41) (42) A közzététel napja: 1986.07.28. (H) (13) 197627 B (51) Int.Ci« G 01 B 11/30 (45) Megjelent: 1989.11.27. (72) Feltalálók: BÁLINT István, 8%, ENGARD Ferenc, 16%, GIBER János, 11%, KOCSÁNYI László, 18%, LÖRINCZ Emőke, 11%,PÉCZELI Imre, 16%, RICHTER Péter, 11%, VÁGI Béla, 9%, Budapest, HU (73) Szabadalmas: Budapesti Műszaki Egyetem, Budapest, HU (54) BERENDEZÉS SZILÁRD FELÜLETŰ MINTÁK PROFIL MAGASSÁGÁNAK MÉRÉSÉRE (57) KIVONAT A találmány tárgya berendezés szilárd felületű minták profilmagasságának mérésére. A berendezésnek fényforrása, a fényforrás fénynyalábjának irányában nyalábosztója, optikai leképező eleme, a nyaláboszlóról viszszaszórt vagy reflektált fénynyaláb irányában detektora, a szilárd felületű minták mérésére mérőasztala, valamint adatfeldolgozója van. A találmány lényege, hogy a berendezés fényforrása koherens fényforrás (21), a detektora képfelvevő (24), az adatfeldolgozó pedig képfeldolgozó (50), továbbá a berendezésnek mérőfeje (20) van. A mérőfej (20) és a mérőasztal (30) egy köralakú referencia felületen két irányban, vagy a mérőfej (20) és a mérőasztal (30) egy-egy irányban mozgatószervvel mozgatható. A mérőfej a koherens fényforrásból (21), továbbá a fényforrás (21) és a minta (40) között nyalábosztóból (22) és optikai leképező elemből (23), valamint a nyalábosztóról (22) visszaszórt fénynyaláb irányában képfelvevőből (24) áll. A képfelvevő (24) kimenetére (b), valamint a fényérzékelő kimenetére (c) a képfeldolgozó (50) egy-egy bemenete csatlakozik. (3. ábra) 26 3. ótaro
