196262. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető anyagok és szerkezetek elektromosan aktív szennyezéseinek vizsgálatára és mérési elrendezés az eljárás foganatosítására

(19) HU

MAGYAR

NÉPKÖZTÁRSASÁG

SZABADALMI

LEÍRÁS

SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY

(21) 1096/86 (22) A bejelentés napja: 86. 03.17.

(11) (13)

196 262B

Nemzetközi osztályjelzet: (51) Int. CI-4: G 01 N 22/00

ORSZÁGOS

TALÁLMÁNYI

hivatal (41) (42) Közzététel napja: 87.11. 30.

(45) A leírás megjelent: 89. 07.26.

Feitaláló(k): (72)

dr. FERENCZI György, Budapest, HU, dr. JANTSCH Wolfgang, Linz, AT

Szabadalmas: (73)

MTA Műszaki Fizikai Kutató Intézete. Budapest. HU. dr. JANTSCH Wolfgang.

Linz. Ad'

(54)

ELJÁRÁS FÉLVEZETŐ ANYAGOK ÉS SZERKEZETEK ELEKTROMOSAN AKTÍV SZENNYEZÉSEINEK VIZSGÁLATÁRA ÉS MÉRÉSI ELRENDEZÉS AZ ELJÁRÁS FOGANATOSÍTÁSÁRA

(57) KIVONAT

Eljárás félvezető anyagok és szerkezetek elektromosan aktív szennyezéseinek vizsgálatára, amelynek során a félvezető anyagból vett mintában tértöltési tartományt hoznak létre és ennek elektromosan aktív hibahelyeit betöltik, majd a betöltést követően vizsgálják a termikus emissziós folyamatot, amelynek során az egyensúlyi állapot helyreállni igyekszik, a tértöltést létesítő zárt áramkörben a kialakuló áramtranziens elvezetését biztosítják és a vizsgált félvezető mintát (17) rezonáns elem mikrohullámú terébe helyezik és mérik a tér abszorpciójának a betöltést követően kialakuló emissziós folyamat hatására bekövetkező megváltozását.

Az eljárás foganatosítására alkalmas mérési elrendezésben a vizsgált félvezető mintához (17) impulzusgenerátor (13) csatlakozik, és a félvezető minta (17) rezonáns mikrohullámú üreg (6) belsejében van elrendezve, egyik elektródja az üreggel

(6) kapcsolódik, az üreg (6) mikrohullámú híd egyik ágába van beiktatva, a híd bemenete mikrohullámú generátorral (1) kapcsolódik, a híd kimenete mikrohullámú detektorhoz (8) csatlakozik, és ennek kimenete detektált jelet mérő berendezéshez csatlakozik.

I.Qbra