195999. lajstromszámú szabadalom • Gáz- és nedvességérzékelő eszköz, valamint eljárás annak előállítására
(19) HU MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI H1YATAL SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY B Bejelentés napja: (22) 1984.11.23. (21) (4351/84) Kiállítási elsőbbsége: (23) 1984.05.23. (36/1984. sz. Tavaszi BNV) HU Közzététel napja: (41) (42) 1986.06.30. Megjelent: (45) ) 989.02.30. (11) 195999 Nemzetközi osztályozás: (51) NSZCh G 01 N 25/56 G 01 N 27/12 ✓g^agos Találay^ Sza^a*/(T,; T$r . Tin Feltalálók: (72) Dr, Besenyei Gáborné, 31%, Harsányi Gábor, 29%, Katona Gábor, 29%, Fodor Zsuzsa, 5%, Mátyás Gáborné, 3%, Klement Tiborné, 3%, Budapest, HU Szabadalmas: (73) Mikroelektronikai Vállalat, Budapest, HU (54) GÁZ— &S NEDVESSÉGÉRZÉKELŐ ESZKÖZ, VALAMINT ELJÁRÁS /ANnSIAK ELŐÁLLÍTÁSÁRA 1 (57) KIVONAT A találmány gáz- és nedvességérzékelő eszköz, amelynek szigetelő anyagú, főként aluminium-oxid kerámia hordozó lapkája van. A lapka egyik felületén réteg formájában elhelyezett vezetőhálózatot és fűtőellenállás hálózatot hordoz, a lapka másik felületén két, egymástól tévközzel elválasztott réteg formájában elhelyezett elektródát és az elektródák között a lapka felületére tapadó, valamint - részben vagy egészben - az elektródákra irányulóan elhelyezett és az elektródákkal galvanikus összeköttetésben álló, érzékelő réteget foglal magába, ahol az érzékelő réteg kötőanyag jelenlétében félvezető oxid összetevőként ón-dioxid, cink-oxid, cirkóniura-dioxid, titán-dioxid vagy vas-oxid legalább egyikét, érzókenyitő adalékként pedig összesen 0,01-10 tömeg%-nyi mennyiségben vanádium-pentoxid, platina, mangán-dioxid, réz, réz-oxid, mangán, nikkel, nikkel-oxid, palládium, ezüst, ezűst-oxid, molibdén és vas-oxid közül legalább egyet tartalmaz. Jellegzetessége, hogy a kötőanyag olyan üvegszerű ólomboroszilikát, amely 30-70 tömeg% ólmot, 10-10 tömeg% szilíciumot, 20-60 lömeg% bort, valamint adalékként 1-10 tömeg% alumíniumot és 0-10 tőmeg% titánt oxid összetevők formájában foglal magában, továbbá, hogy az ér-2 zékelő réteg az üvegszerű kötőanyagból 0,05-5 tömeg%-nyi mennyiséget, a félvezető oxid összetevőből és érzékenyitő adalék (ok )ból összesen 95-99,95 tömeg%-nyi mennyisé- 5 get magában foglaló pórusos szerkezet. A találmányhoz tartozik az eljárás is géz- és nedvességérzékelő eszköz előállítására. Jellegzetessége, hogy a vezetőhálózatot (3) és az elektródákat (7, 8) alkotó rétege- 10 két, majd a vezetóhálózat (3) fölé a fűtőellenállás hálózatot (4) külön-külön műveleti lépésekben, önmagukban ismert módon, szitanyomtató és beégető művelettel alakítjuk ki, továbbá, hogy az érzékelő réteg (9) készité- 15 se céljából a külön elkészített, üvegszerű, ólomboroszilikát alapú kötőanyagot legfeljebb 20 pm, célszerűen 1-2 jum átlagos szemcsézettségűvé porítjuk, majd azt a hasonló szemcsézettségű félvezető oxid(ok)al és érzé- 20 kenyítő adalék(ok)kal oly keverékké alakítjuk, amelyben 0,05-5 tömeg% üvegszerű kötőanyag és együttesen 95-99,95 tömeg% félvezető oxid és érzékenyitő adalék van, végül a keveréket plasztifikáló anyag, célszerűen 25 etilcellulóz butilacetátos oldata hozzáadásával 18-40 Pás viszkozitású pasztává alakítjuk, a pasztát szitanyomtatással felvisszük a lapka felületére és 400-900 °C, előnyösen 450-700 °C hőmérsékleten beégetjük. (2. ábra) 30 195999
