195882. lajstromszámú szabadalom • Elrendezés műszaki felületek interferometrikus síkvizsgálatára
1 195 882 2 — Az illesztésnél a referenciafázis változtatására eljárásfüggő invariánsok által, azaz a prizma mozgatása révén nincs szükség.- Az anamorfotikus képtorzítás olyan csekély, hogy a számítógép az intenzitásértékeket képes kiegyenlítés nélkül feldolgozni, így az anamorfotikus képtorzítás a beállított érzékenységtől igen csekély mértékben függ. Szabadalmi igénypontok 1. Elrendezés műszaki felületek interferometrikus síkvizsgálatára, amelynek derékszögű prizmából és próbafelületből kialakított Fizeau-interferométere, valamint lézer fényforrása van, azzal jellemezve, hogy 15 a lézer, (L) sugármenetében A/2-lemez (PL) van elhelyezve, amelyet felbontórendszer (A) követ, amely objektívekből (Oi, O2) és diafragmából van kialakítva, továbbá a felbontórendszer (A) mögött fordítótükör (Sí) van elhelyezve, amelyhez a prizmából (P) 20 és próbafelületből (PR) kialakított Fizeau-interferométer'van illesztve, és a Fizeau-interferométerből kilépő sugármenetben további fordítótükör (S2) van elhelyezve, amelyet Moiré-interferométer követ, amely négy objektívbői (O3, O4, O5 és Oé), az első két ob- 25 jektív (03,04)között elhelyezett térfrekvenciaszűrőből (Fi), a második és a harmadik objektív (O4, O5) között elrendezett diffrakciós elemből (BE), valamint a harmadik és a negyedik objektiv (O5, Og) között elhelyezett második térfrekvenciaszűrőből (F2) épül fel, továbbá a Moiré-interferométer mögött felületvevő (FE) van elrendezve, amelyhez analóg/digitális- 5 -átalakító (A/D) csatlakozik, amely számítógéppel (R) van összekapcsolva. 2. Az 1. igénypont szerinti elrendezés, azzal jellemezve, hogy a fordítótükrök (Sj, S2), az érzékenység változtatása céljából a tükörpár belső tükörélén, a tü-10 körfelület irányában futó tengely körül egymással ellentétes forgásirányban elfordíthatóan vannak elrendezve. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti elrendezés, azzal jellemezve, hogy a Moiré-interferométer diffrakciós eleme (BE) rácsként van megvalósítva. 4. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti elrendezés, azzal jellemezve, hogy a Moiré-interfeométer diffrakciós eleme (BE) hologramként van megvalósítva. 5. Az 1-4. igénypontok bármelyike szerinti elrendezés, azzal jellemezve, hogy a Moiré-interferométer diffrakciós eleme (BE) referenciafázis-eltolás céljából az elem síkjában, a rács-, illetve interferenciavonalakra merőleges irányban eltolhatóan van elrendezve. 6. Az 1-5. igénypontok bármelyike szerinti elrendezés, azzal jellemezve, hogy a próbafelület (PR) a derékszögű prizma (P) átfogólapjával a diffrakciós elem (BE) térfrekvenciájától függő szöget bezáróan van elrendezve. 1 db rajz Kiadja: Országos Tervhivatal, Budapest A kiadásért felel: Himer Zoltán osztályvezető Megjelent az ENCOPRINT KISSZÖVETKEZET gondozásában Felelős vezető : Schmidl Tibor
