195882. lajstromszámú szabadalom • Elrendezés műszaki felületek interferometrikus síkvizsgálatára

(19) HU

MAGYAR

NÉPKÖZTÁRSASÁG

SZABADALMI

LEÍRÁS

'’"195 882

B

(22) A bejelentés napja: 1984.12.03. (21) 4466/84.

A bejelentés elsőbbsége:

(33) DD

(32)1983.12.05.

(31)WPG 01 B/257 478.5

ORSZÁGOS

TALÁLMÁNYI

HIVATAL

(41) (42) A közzététel napja: 1986.03. 28. (45) A leírás megjelent: 1988.10.31.

Nemzetközi

osztályjelzet:

(5DNSZO.

GOI B 11/30

(72) Feltalálóik):

dr. ELSSNER Karl-Edmund, Woltersdorf, (73) Szabadalmas:

dr. SCHWIDER Johannes, dr. SPOLACZYK Reiner, Akademie der Wissenschaften der DDR, Berlin, DD Berlin, DD

(54) ELRENDEZÉS MŰSZAKI FELÜLETEK INTERFEROMETRIKUS SÍKVIZSGÁLATÁRA

(57) KIVONAT

A találmány tárgya elrendezés műszaki felületek, főleg félvezetőlapok interferometrikus síkvizsgálatára, amelynek Fízeau-interferométere, valamint lézer fényforrása van. A találmány lényege, hogy a lézer (L) sugármenetében X/2-lemez (PL) van elhelyezve, amelyet objektívekből (Oj, O2) és diafragmából (B) kialakított felbontórendszer (A) követ, amely mögött fordítótükör (Sj) van elhelyezve, amelyhez prizmából (P) és próbafelületből (PR) kialakított Fizeau-interferométcr van illesztve. Az ebből kilépő sugármenetben további fordítótükör (S2) van elhelyezve, amelyet négy objektívbői (O3,04.05 és 0^), valamint közöttük elrendezett térfrekvenciaszűrőkből (Fj, F2) és diffrakciós elemből (BF) felépített Moiré-interfcrométer követ, amely mögött felületvevő (FE) van elhelyezve. A felületvevöhöz (FE) számitógéppel (R) öszszckapcsolt analóg/digitális-átalukító (A/D) csatlakozik.