195362. lajstromszámú szabadalom • Eljárás integrált áramkörök fémhálózatának kialakítására
I 195 362 2 kezelt felületeken nagyobb az oldási sebesség, mint az oxidálószeres kezelés nélküli mintáké. Ezáltal a marási sebesség a felületre merőleges irányban is előnyösen változik. A felület síkjában a marás minden egyes ponton egyszerre indul, s így a marás végpontja is azonos, mely együtt jár az áramkörök geometriai méreteinek azonosságával is a minta teljes felületén. Ez a tény nagymértékben megnöveli az áramkörkészítés kihozatalát,és egyben nagyobb felületű mintákon is lehetőség nyílik finom mintázatok mérethű előállítására. Szabadalmi igénypontok 1. Eljárás integrált áramkörök fémhálózatának kialakítására, melynek során a fém vékonyréteg előkészítése után dehidratálunk (eltávolítjuk a felületen kötött vizet), majd a felületre fényérzékeny lakkot viszünk fel, hőkezelés után maszkon keresztül exponálunk, az áramköri ábrát előhívjuk és másodszor is hőkezelünk, végül nedves kémiai módszerrel maratjuk az ábrát és eltávolítjuk a lakkréteget, azzal jellemezve, 5 hogy az ábra előhívása vagy a második hőkezelés után, a maratás előtt a felületet oxidálószer vizes oldatával kezeljük. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az oxidálószer vizes oldatával kezelést mini-10 műm hatvan másodpercig folytatjuk. 3. A 2. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az oxidálószer vizes oldatával kezelést maximum százhúsz másodpercig folytatjuk. 4. Az 1—3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az oxidálószer vizes oldataként króm VI trioxid 10 %-os vizes oldatát vagy telített káliumpermanganát oldatot alkalmazunk. 15 Rajz nélkül Kiadja: Országos Találmány; Hivatal, Budapest A kiadásért felel: Himer Zoltán osztályvezető Megjelent az ENCOPRINT KISSZÖVETKEZET gondozásában Felelős vezető: Schmidl Tibor
