195362. lajstromszámú szabadalom • Eljárás integrált áramkörök fémhálózatának kialakítására

(19) HU

MAGYAR

NÉPKÖZTÁRSASÁG

SZABADALMI

LEÍRÁS

"’'195 362

ORSZÁGOS

TALÁLMÁNYI

HIVATAL

(41) (42) A közzététel napja: 1987. 08. 28. (45) A leírás megjelent: 1988. 09. 30.

Nemzetközi

osztályjelzet:

(51) nszo4 H01 L 21/306. HOI L21/70

(72) Feltalálóik):

B. VÁZSONYI Éva, 60 %, PAYER Károlyné, 10 %, ZIMMER György, 30 %, Budapest, HU

(73) Szabadalmas:

MTA Központi Fizikai Kutató Intézete, Budapest, HU

(54) ELJÁRÁS INTEGRÁLT ÁRAMKÖRÖK FÉMHÁLÓZATANAK KIALAKÍTÁSÁRA

(57) KIVONAT

Eljárás integrált áramköri minták fotolitográfíás kialakitására, melynek során a fém vékonyréteg előkészítése után dehidratálunk (eltávolítjuk a felületen kötött vizet), majd a felületre fényérzékeny lakkot viszünk fel, hőkezelés után maszkon keresztül

exponálunk, az ábrát előhívjuk és másodszor is hőkezelünk. A második hőkezelés után a felületet oxidálószer vizes oldatával kezeljük, végül nedves kémiai módszerrel maratjuk az ábrát és eltávolítjuk a lakkréteget.