195361. lajstromszámú szabadalom • Eljárás előírt adalékprofilú epitaxiális rétegek előállítására

1

195 361

2

idő (mp)

PPH3,0*1’4-I(r4pa

Ppii 3,o = 9,5.1CTÄPa

PpH3,u-210_7pa

297. .302

X

302..312

X

312. .317

X

317..324

X

324..332

X

332..336

X

336..350

X

353. .360

X

360..489

'

X

489..493

X

493..497

X

497..570

X

570. .576

X

576..600

X

600..630

X

630..680

X

680. .712

X

712. .762

X

762. .794

X

794. .840

X

A rétegválasztás végén olyan adalék profil-lefutást kapunk az epitaxiális rétegben .amely — ellentétben az irányítás nélkül készült adalékátmenettel — lényegesen meredekebb lefutású és lényegesen gyorsabban éri el az N = 5.1014 cm-3 állandó adalékszintet.

Szabadalmi igénypontok

1. Eljárás előírt adalékprofilú epitaxiális rétegek előállítására, hordozószelet felületén vagy mára meglévő epitaxiális rétegrendszerek felületén epitaxia reaktorban végrehajtott kémiai gázfázisú leválasztás segítségével, melynél a reaktorba betáplált anyag vivőgázból, rétegforrás-anyagból és pDot betáplálási parciális nyomású adalékforrás-anyagból áll, és melynek során az adalékforrás-anyagot egy optimális pDot(t) irányítási függvény szerint, időben szabályozva vezetjük a reaktorba, azzal jellemezve, hogy az adalékforrás-anyagot egymást követő impulzusokból álló impulzussorozat formájában keverjük be a vivőgázba.

2. Az 1. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az adalékforrás-anyagot adagoló szelepek — célszerűen elektromágneses szelepek — ki-, bekapcsolási időtartamának változtatásával az adalékforrás-anyag pDot betáplált parciális nyomás értékeit a

25 reaktorban egy felső pDot Q és egy alsó pDot érték között tartjuk úgy, hogy ezáltal

^Dot, u — ^Dot ^ — ^Dot, o vagy legalább

W00Pdo,,o<?d<„,('><'°'Pdo,,.

30 rétegnövesztési feltétel minden t időpillanatban létrejön, továbbá az impulzus hosszát és két impulzus közötti szünet hosszát - egymástól függetlenül - változtatva úgy állítjuk be, hogy t t

35 / Pßot (l ) - í Pj)0t (t ) I impulzussor

o o 1

a rétegnövesztés minden t időpillanatában létrejön.

3. A 2. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy két impulzus közötti szünethossz felső hatá-40 raként 20 és 60 másodperc közötti értéket állítunk be.

4. A 2. vagy 3. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az adalékforrás-anyag parciális nyomásának a pDot 0 és/vagy pDo( felső, illetve alsó

45 amplitúdó értékeit egymást követően többféle parciális nyomásszinten betáplált impulzusokból álló impulzussorozat formájában alakítjuk.

Rajz nélkül

Kiadja: Országos Tervhivatal, Budapest A kiadásért felel: Himer Zoltán osztályvezető Megjelent az ENCOPRINT KISSZÖVETKEZET gondozásában Felelős vezető: Schmídl Tibor