195360. lajstromszámú szabadalom • Epitaxiális reaktor
1 195 360 2 cső rugalmas befogása megakadályozza, bogy az üzem során bekövclkező hő mérsékletváltozások miatt fellépő hosszváltozás a kvarccső károsodását okozza. Az 5 kettős tömítés két különböző tulajdonságú anyagból áll. ennek következtében a reakcióhoz szükséges gázkeverék káros vegyi hatásának ellen tud állni, elegendően rugalmas és nem ragad hozza a 3 kvarccsőhöz. A találmány szerinti epitaxiális reaktor egyszerű felépítésű kvarccsövet alkalmas, és lehetővé teszi az epitaxiális rétegek kialakításához' szükséges gázkeverék áramlási intenzitásának könnyű szabályozását. Szabadalmi igénypont 1. Epitaxiális reaktor, amely reakció lefolytatására alkalmas kvarccsövet, reakciógázt elosztó egységgel ellátott bemeneti peremet, rugalmasan megtámasztott kimeneti peremet és a kvarccsövet befogó támaszt tartalmaz, azzal jellemezve, hogy a kvarccső (3) hossza mentén változatlan profilú, csiszolt homlokfelületekkel ellátott csőként van kialakítva, amely a támasz (1) segítségével a bemeneti perem (2) és a kimeneti (terem (4) között rugalmasan van befogva, és azokhoz kettős tömítéseken (5) keresztül van illesztve, ahol a bemeneti peremnél (2) a kvarccső (3) nyílásától elválasztott elosztóegységgcl (11) ellátott kiegyenlítő kamra (12) van elrendezve, amelynek a kvarccsövet (3) lezáró oldalán egymáshoz képest egy irányban cltolhatóan elrendezett lyukasztott lemezzel (7) és lyukasztott falat (6) tartalmazó áramlásszabályozó-egységgel van ellátva, ahol a lyukasztott fal (6) és a lyukasztott lemez (7) azonos számú, egymástól eltérő nagyságú, az eltolással egymással fedésbe hozható, előnyösen kör-, ovális- vagy négyzet alakú nyílásokkal van kialakítva, ahol a lyukasztott lemez (7) az eltolás irányában a lyukasztott falhoz (6) viszonyítva kétszer nagyobb méretű nyílásokkal van kiképezve, míg a kimeneti perem (4) hűtővizet továbbító bcömlést és kiömlést (9) tartalmazó hűtőcsővel van ellátva és rugóval (10) van megtámasztva. 5 10 15 20 2 db rajz Kiadja: Országos Tervhivatal, Budapest A kiadásért felel: Hímer Zoltán osztályvezető Megjelent az ENCOPRINT KISSZÖVETKEZET gondozásában Felelős vezető: Schmidl Tibor
