195360. lajstromszámú szabadalom • Epitaxiális reaktor

<191 HU

MAGYAR

NÉPKÖZTÁRSASÁG

SZABADALMI

LEÍRÁS

""195 360

ORSZÁGOS

TALÁLMÁNYI

HIVATAL

(22) A bejelentés napja: 1984. 10.08. A bejelentés elsőbbsége:

(33) CS

(32) 1983.10.11.

(31) PV 7 444-83

B

(21)3787/84.

Nemzetközi

osztályjelzet:

<51> nszo4

H 01 L 21/02 C 30 B 35/00

(89) Származási ország: 237.194 CS (41) (42) A közzététel napja: 1985.09. 30. (45) A leírás megjelent: 1988. 09. 30.

(72) Feltalálóik):

SLEZÁK Jiri, VESELY Zdenek, MKYSKA Josef, kutatók, Prága, CS

(73) Szabadalmas:

TESLA Koncemovy podnik, Prága, CS

(54) EPITAXIALIS REAKTOR

(57) KIVONAT

A találmány tárgya epitaxiális reaktor, amely reakció lefolytatására alkalmas kvarccsövet (3), reakciógázt elosztó egységgel ellátott bemeneti peremet (2)„ rugalmasan megtámasztott kimeneti peremet (4) és a kvarccsövet (3) befogó támaszt (1) tartalmaz. Lényege, hogy a kvarccső (3) hossza mentén változatlan profilú, csiszolt homlokfelületekkel ellátott csőként van kialakítva, amely a támasz (1) segítségével a bemeneti perem (2) és a kimeneti perem (4) között rugalmasan van befogva, és azokhoz kettős tömítéseken (5) keresztül van illesztve, ahol a bemeneti peremnél (2) a kvarccsö (3) nyílásától elválasztott elosztó egységgel (11) ellátott kiegyenlítő kamra (12) van elrendezve, amelynek a kvarccsövet (3) lezáró oldalán egymáshoz képest egy irányban eltolhatóan elrendezett lyukasztott lemezzel (7) és lyukasztott falat (6) tartalmazó áramlásszabályozó-egységgel van ellátva, ahol a lyukasztott fal (6) és a lyukasztott lemez (7) egymástól eltérő nagyságú, az eltolással egymással fedésbe hozható nyílásokkal van kialakítva.