195037. lajstromszámú szabadalom • Eljárás mechanikai mennyiségek mérésére szolgáló mérőátalakító érzéklő membránjának előállítására
195037 ránjának előállítására, amely során félvezető testben (1) önmagában ismert módon ionimplantációval adott adalékanyag koncentrációjú ellenállástartományokat (2) alakítunk ki, és az ellenállástartományokat (2) önmagában ismert módon fémréteg (4) felvitelével Wheatstone-híd elrendezésű ellenálláshálózattá kötjük össze, azzal jellemezve, hogy az ellenállástartományok (2) kialakítását megelőzően az ellenállástartományok (2) tervezett végeinél önmagában ismert módon diffúzióval az ellenállástartományok adalékanyag koncentrációjánál nagyobb adalékanyag koncentrációval rendelkező, az ellenállástartományok vezetési típusával egyező vezetési típusú kontaktustartományokat (3) alakítunk ki, majd ezt követően a kontaktustartományok (3) között hozzuk létre az ellenállástartományokat (2). 5 2.) Az 1. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a félvezető testnek (1) n vezetési típusú szilícium egykristályt választunk és azon p+ vezetési típusú kontaktustar- 5 tományok (3) előállításához a tervezett ellenállástartományok (2) végeinél az egykristály felületére 950—1050°C, előnyösen 1000°C hőmérsékleten 60—180 percen, célszerűen 120 percen át, semleges, leginkább nitrogén 10 atmoszférában bór-adalékanyagot választunk le, ezt követően a képződött bórüveget 600 — 800°C, előnyösen 700°C hőmérsékleten vízgőzzel telített oxigénben végzett hőkezeléssel lazítjuk és önmagában ismert módon ned- 15 vés kémiai eljárással lemarjuk, majd a bort 1000—1100°C, célszerűen 1050°C hőmérsékleten oxigén jelenlétében 60—180 percen, célszerűen 120 percen át végzett hőkezeléssel behajtjuk. 1 lap rajz, 2 ábra i
