195037. lajstromszámú szabadalom • Eljárás mechanikai mennyiségek mérésére szolgáló mérőátalakító érzéklő membránjának előállítására

(19) HU

SZABADALMI

LEÍRÁS

(II) (13)

195037 B

MAGYAR

NÉPKÖZTÁRSASÁG

ORSZÁGOS

TALÁLMÁNYI

HIVATAL

szolgalati találmány

(22) A bejelentés napja: 85.10.25. (21) 4112/85

(51) Int.Cl4 H 01 L 27/20 G 01 L 1/18

(41) (42) A közzététel napja: 1987.05.28.

(45) Megjelent: 1989.01.10.

(72) Feltalálók:

BÁRSONY István, 30%, BERKECZ János, 40%, TRUTZ Sándor, 30%, Budapest

(71) Bejelentő:

Mikroelektronikai Vállalat, Budapest

(54) ELJÁRÁS MECHANIKAI MENNYISÉGEK MÉRÉSÉRE SZOLGÁLÓ MÉRÖÁTALAKÍTÓ ÉRZÉKELŐ MEMBRÁNJÁNAK ELŐÁLLÍTÁSÁRA

(57) KIVONAT

A találmány tárgya eljárás mechanikai mennyiségek mérésére szolgáló mérőátalakító érzékelő membránjának előállítására, amely átalakító különböző mechanikai mennyiségek, főként nyomás, erő, gyorsulás stb. mérésére használható.

A találmány szerinti membrán előállítási eljárás során félvezető testben önmagában ismert módon ionimplantációval ellenállástartományokat alakítunk ki, és az ellenállástartományokat önmagában ismert módon fémréteg felvitelével Wheatstone-híd elrendezésű ellenálláshálózattá kötjük össze. A megoldás lényege, hogy az ellenállástartományok (2) kialakítását megelőzően az ellenállástartományok (2) tervezett végeinél önmagában ismert módon diffúzióval az ellenállástartományok adalékanyaga koncentrációjánál nagyobb adalékanyag koncentrációval rendelkező, az ellenállástartományok vezetési típusával egyező vezetési típusú kontaktustartományokat (3) alakítunk ki, majd ezt követően a kontaktustartományok (3) között hozzuk létre az ellenállástartományokat (2). (1. ábra)

12 3 4

h ábra