193590. lajstromszámú szabadalom • Trihalogén-metil-csoportokkal szubsztituált heteroaril-karbonil-metilén csoporttal helyettesített heterociklikus vegyületeket tartalmazó fényérzékeny kompozíciók és eljárás ezeknek a vegyületeknek az előállítására
193590 azolt és halogénezett szénhidrogént tartalmaznak, a tetrabróm-etán halogén-vegyületet annak törtrésznyi mennyiségével helyettesíthetjük, a találmány szerinti vegyülettel. A gyakorlatban színátcsapás például a különböző nyomatok előállításánál is kívánatos azért, hogy a megvilágítás után az előhívás,illetve a másolás eredménye rögtön értékelhető legyen. A 23 31 377 számú német szövetségi köztársaságbeli szabadalmi leírásban megnevezett sav-donorok helyett a találmány szerinti eljárással előállított vegyületek igen előnyösen felhasználhatók. A találmány szerinti eljárással előállított vegyületeket előnyösen felhasználhatjuk továbbá olyan keverékekben is, amelyek lényeges komponensként legalább egy, savval lehasítható C-O-C csoportot tartalmaznak. Ilyen vegyületek például a következők: a) vegyületek, amelyek legalább egy ortokarbonsav-észter és/vagy karbonsav-amid-acetál — csoportot tartalmaznak, polimer karakterűek, és a fenti csoportokat a főlánchoz kapcsolódó elemként vagy oldallánc-szubsztituensként tartalmazzák; b) polimervegyületek, amelyek ismétlődő acetál- és/vagy ketálcsoportokat tartalmaznak. Az a) csoporthoz tartozó vegyületeket tartalmaznak a 26 10 842 vagy 29 28 636 számú német szövetségi köztársaságbeli szabadalmi leírásokban ismertetett fényérzékeny keverékek, míg a b) csoportban említett vegyületekre vonatkozó utalás a 27 18 254 számú német szövetségi köztársaságbeli szabadalmi leírásban található. Sav hatására lehasadó vegyületként említhetjük például bizonyos aril-alkil-acetál és -áruinál vegyületeket is (23 06 248 számú német szövetségi köztársaságbeli szabadalmi leírás), amelyek szintén lebonthatók a találmány szerinti vegyületek fotolitikus termékével. Azok a keverékek, amelyek aktinikus sugárzás hatására közvetlenül vagy közvetve kisebb molekulákká alakulnak, a besugárzott helyeken általában megnövekedett oldhatóságot, ragaszthatóságot vagy illékonyságot mutatnak. Ennek megfelelően ezek a részek alkalmas módon, például valamely előhívóoldat segítségével kioldhatok, eltávolíthatók. Másolóanyagok esetében ilyenkor pozitív rendszerekről beszélünk. A különböző pozitív másolóanyagnál alkalmazott novolak-kondenzációs gyanták a találmány szerinti vegyületeknél is, savval lehasítható vegyületekkel elkeverve, igen használhatónak és előnyösnek bizonyulnak. Alkalmazásukkal a megvilágított és nem megvilágított részek között előhívás után, különösen a magasabb kondenzációs fokú szubsztituált íenol/formaldehid gyanták esetében, igen jó kontraszt érhető el. A novolak-gyanták fajtáját és mennyiségét a felhasználástól függően választjuk meg, mennyiségük az összmeny- 6 7 nyiségre vonatkoztatva 30-9Ö, előnyösen 55- -85 tömeg%. A keverékekben további adalékként még más gyantákat is felhasználhatunk, így például vinilpolimerizátumokat, például polivinil-acetátot, poliakrilátot, polivinil-étert,valamint polivinil-pirrolidont, amelyeket komonomerekkel módosíthatunk. Ezen gyanták mennyiségét szintén az alkalmazási terület, valamint az előhívási körülményekre kifejtett hatás szabja meg, mennyiségük általában nem több, mint a novolak mennyiségének 20% a. A találmány szerinti fényérzékeny keverékek speciális követelmények, így például flexibilitás, tapadás, valamint fényesség kielégítésére, további adalékanyagokat is tartalmazhatnak, így például poliglikolokat, cellulóz-származékokat, így például etil-cellulózt, továbbá nedvesítőszereket, színezőanyagokat és finomeloszlású pigmenteket, valamint szükség szerint UV-abszorbenseket. Az előhívást előnyösen ismert módszerek szerint végezzük, így például vizes-alkoholos előhívó-oldatokkal, amelyek kismennyiségben szerves oldószert is tartalmazhatnak, de végezhetjük az előhívást szerves oldószerekkel is. A fotopolimerizálható keverékekkel kialakítóit hordozóknál olyan pozitív másolóanyagok is számításba jöhetnek, mint amilyeneket a mikroelektronikában szokásos szilíciumvagy szilícium-dioxid felületeknél alkalmaznak. A találmány szerinti eljárással előállított vegyületek mennyisége a pozitív módon dolgozó fényérzékeny keverékekben a rétegtől és íz anyagától függően igen különböző lehet, előnyösen 0,1-10%, még előnyösebben 0,2-5% az ossz anyagmennyiségre vonatkoztatva. 10 pm-nél vastagabb rétegek esetében célszerűen kismennyiségű sav-donort is a 1 kaI- ma?unk. Besugárzásra általában max. 600 nm hullámhosszúságú elektromágneses sugárzást használunk. A hullámhosszúság előnyösen 250 és 500 nm között van. Számos találmány szerinti eljárással előállított vegyület esetében, amelyek abszorpciós maximuma a látható tartományban van és r z abszorpciós tartománya 500 nm fölé nyúlik, megoldható, hogy a fotoiniciátorra optimális fényforrást alkalmazzuk. Fényforrásként például a következők kerülhetnek alkalmazásra: röntgenlámpa, xenonimpulzus-lámpa, nagynyomású fémhalogenides higanygőz-lámpa, szén-ívfénylámpa. Ezeken kívül a találmány szerinti fényérzékeny keverékek megvilágítására az ismert és szokásosan alkalmazott vetítő és nagyító készülékeket, amelyek fémszálas izzókkal dolgoznak, vagy a kontakt megvilágítású, izzólámpákkal dolgozó készülékek egyaránt felhasználhatok. A megvilágítás koherens fénynyel működő lézerrel is történhet. Alkalmasak erre a célra például a nagyteljesítményű rövidhullámú lézerek, így például az argon-, vagy kripton-lézerek, a színezék-lézerek, va-8 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65
