192181. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés szilárd testek vizsgálatára a szekunder részek energia szerinti elemzésével
1 192 181 2 1. Hagyományos intenzitás - a fajlagos tömeg közötti spektrum, automatikus tömegszám változtatással, 2. A teljes tömegtartományban kiválasztott m0 tömegintenzitás - energia spektruma, automatikus 5 energia változással. 3. Intenzitás mérés az automatikusan, diszkrét lépcsőkben változó tömeg mellett, az állandó tömeglépcső melletti folytonos energia változtatás a teljes energiatartomány ban. 10 Szabadalmi igénypontok 1. Eljárás szilárd testek felületi tulajdonságainak 15 vizsgálatára, melynek során vizsgált mintát (7) 1-10 keV energiájú primer ionokkal (1) bombázunk, a mintából (7) kilépő szekunder ionokat (2) quadrupole (4) tömegszétválasztóval fajlagos tömeg<-*intenzitás vonatkozásban elemzünk, azzal 20 jellemezve, hogy a minta (7) és a quadrupole (4) közé energíaanalizátort (3) helyezünk el, és központi digitális CPU vezérlőegységgel (8) úgy vezérlünk D/A digitál analóg átalakító egységen (10) keresztül megfelelő tápegységeket (10.1, 10.2), 25 hogy az általunk szolgáltatott, az energiaanalizátor (3) fém elektródáira kapcsolódó feszültség (12 Eszektor) vonatkozó idődiagramnak (14) megfelelően az idő függvényében minimális és maximális energiaértékek (Emin, Emax) között meghatározott 30 periódus idővel (x), az időben fűrész függvény szerint változik, ezzel kialakítjuk az energiaanalizátor megkívánt pillanatnyi áteresztési energiáját [Esz(t)], egyidejűleg központi digitális CPU vezérlőegységgel (8) úgy vezérelünk D/A digitál analóg átalakító 35 egységeken (11) keresztül megfelelő tápegységet (11.1), hqgy az általa szolgáltatott, a minta (7) és a föld között fellépő feszültség (6 UTARGET) a vonatkozó idődiagram (15) szerint az idő függvényében meghatározott periódus idővel (x) fűrészfog szerint 40 változik, egy maximális érték (UTo) körül adott amplitúdóval (Emax-Emin), ezzel kialakítjuk a minta (7) megkívánt pillanatnyi feszültségét [UT(t)J a földhöz képest, továbbá a központi digitális CPU vezérlőegységgel (8) úgy vezérlünk quadrupolt (4) tápláló egységeket (9.1,9.2) megfelelő D/A digitális átalakító egységeken keresztül, hogy a quadrupole (4) kialakuló tértengelyfeszültsége (5 UAXIS) kielégitse az 50 Uj(l) E EszO)— EJ AXIS = E^ összefüggést, ahol E^ meghatározott energia (pl. 3 eV) a quadrupole (4) bemenő pontján (A), valamint egyidejűleg a quadrupole (4) által elemzésre kerülő tömeget a vonatkozó idődiagramnak (13) megfelelően szinkron változtatjuk az idő függvényében oly módon, hogy a periódus időn (x) át a pillanatnyi tömegértéken (m„) tartjuk, miközben a feszültségeket [Esz(t), UT(t)] változtatjuk és rögzített tömeg (m0) mellett energia<-+intenzitás vonatkozásban elemzünk. 2. Eljárás szilárd testek felületi tulajdonságainak vizsgálatára, melynek során a vizsgált mintát (7) 1-10 keV energiájú primer ionokkal (1) bombázzuk, a mintából (7) kilépő szekunder ionokat (2) quadrupole (4) tömegszétválasztóval a fajlagos tömeg<-Mntenzitás vonatkozásban elemzünk, azzal jellemezve, hogy a minta (7) és a quadrupole (4) közé energiaanalizátort (3) helyezünk el és ennek fém elektródáira kapcsolódó feszültség ( 12 EszeKTOR) optimális értékét - vagyis a pillanatnyi áteresztési energiát [Esz(m)] - az egyes pillanatnyi tömeg értékekhez [m(t)] kísérleti úton meghatározzuk a maximális transzmisszió«->jelalak szempontjából, majd ezt követően az Esz(m) függvény összetartozó értékeit a központi digitális CPU vezérlőegységben (8) RAM területen tároljuk, majd ezt követően a quadrupolt (4) automatikusan spektrumfelvétel üzemben dolgoztatjuk, biztosítjuk, hogy a pillanatnyi áteresztési feszültség [Esz(m)j az elraktározott függvény szerint kövesse a tömeg (m) változását. 3. Berendezés szilárd testek felületi tulajdonságainak vizsgálatára szekunder ionok tömeg szerinti elemzésével (SIMS), amely ultravákuum térben elhelyezett mintát (7), a mintát (7) bombázó szabályzóit intenzitású, energiájú és összetételű primer ionokat (1) gázból (pl. Ar) elektron ütközéssel előállító primer ion ágyút, valamint a mintából (7) a bombázás hatására kilépő szekunder ionokat (2) fajlagos tömeg<-*intenzitás vonatkozásban elemző quadrupolt (4) tartalmaz, azzal jellemezve, hogy a minta (7) és a quadrupole (4) között tápegységekhez (10.1, 10.2) kapcsolódó adott geometriájú fém elektródákat magába foglaló energiaanalizátor (3) helyezkedik el, hogy a tápegységek (9.1, 9.2, 10.1, 10.2, 11.1) D/A digitál analóg átalakító egységeken (9, 10, 11) keresztül szinkron üzemü CPU vezérlőegységgel (8) állnak összeköttetésben. 4. A 3. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy az energiaanalizátor (3) 127“-os elektromos szektor, a központi digitális CPU vezérlőegység (8) vezérlőpulttal ellátott mikroprocesszor. 3 oldal rajz Kiadja az Országos Találmányi Hivatal A kiadásért felel : Himer Zoltán osztályvezető Szedte a Nyomdaipari Fényszedö Üzem (878398/09) 894)010 — Dabasi Nyomda, Budapest — Dabas Felelős vezető: Bálint Csaba igazgató 3
