191712. lajstromszámú szabadalom • Mágneses katódporlasztó berendezés és ehhez való forgatható porlasztó katód
1 191.71 2 hűtőiére egy hűtő 36 vezeték van kiképezve, amely szintén megfelelő, nem-mágneses anyagból van, és amely a 21 csőalakú elemen belül, annak alsó részén húzódik hosszirányban, amelyre egyben a 22 mágneses eszköz van felfüggesztve 37 függesztő kar segítségével. Az említett 36 vezeték belső végén 38 forgód csap van, amely a 21 csőalakű elem 23 véglapjára van erősítve. A hűtő 36 vezeték külső végrésze keresztülnyúlik egy, a 21 csőalakú elem 24 véglapjában levő nyíláson, és egy 39 kupakkal van lezárva. A hűtő 36 vezeték külső végén egy 40 csövön keresztül hűtőközeget, például vizet vezetürlk be, amely a 40 csőből a 36 vezetéken levő 41 nyíláson áramlik keresztül, Miután a hűtőközeg körüljárta a katódot, az a 42 csövön keresztül távo7.ik egy 43 tartályba vagy hasonló felfogó elembe. A hűtő 36 vezeték rögzített helyzetű, és erre a célra egy 44 rögrítőrúd van alkalmazva, amelynek alsó végéhez van a hűtő 36 vezeték rögzítve, a 44 rögzítőrúd felső vége egy 44a rúd segítségével van a 11 bevonókamra 13 felső falához rögzítve. A 44a rúd keresztülnyúlik a 44 rögzítőrúdon, és be van csavarva a 11 bevonókamra 13 felső falába. A 22 mágnes szerv U-alakú permanens 45 mágnesek sorából áll, amelyek két egyenes, párhuzamos A és B sorban helyezkednek el a 21 csőalakú elemhoszsza mentén. A 45 mágnesek, amelyek két sorban helyezkednek el, egymással szöget zárnak be, amint az a 2. ábrán látható, és a hűtő 36 vezetékhez vannak rögzítve az előbb enilített 37 függesztőkar segítségévçl. A 45 mágnesek a 21 csőalakú elem hosszirányában, lényegében tengelyirányban húzódnak, a kerület mentén korlátozott távolságban. Az A és B sorok mentén elhelyezkedő 45 mágnesek külső 46 szára egy hosszirányban húzódó, megfelelő mágneses anyagból levő, mint például melegen hengerelt lágyacélból levő 47 szalaggal kapcsolódnak, míg a 45 mágneseknek a belső 48 szára egy hasonló mágneses 49 szalaggal kapcsolódnak, amely 49 szalag párhuzamos a 47 szalaggal. A 45 rnagnesek a mágnesezhető 46 és 49 szalagokhoz 50 illetve 51 csavarok segítségével vannak rögzítve. A mágnesezhető 47 és 49 szalagoknak a külső 52 felülete a 21 csőalakú elem belső felületének görbületéhez illeszkedik, és annak szorosan a közelében helyezkednek el. A 45 mágnesek előnyösen úgy vannak elrendezve, hogy az északi pólusuk a külső mágnesozható 47 szalaggal, míg a déli pólusok a mágnesezhető belső 49 szalaggal kapcsolódnak. Nyilvánvaló azonban, hogy másfajta permanens mágnesek vagy elektromágnesek is alkalmazhatók az U-alakú permanens mágnsesek helyett. Elforgatva a 21 csőalakú elemet, a kívánt 31 target szalag vagy szalagok hozhatók a mágnesekkel szembenlevő porlasztó helyzetbe. A 21 csőalakú elemnek a forgatása történehet automatikusan, akár kézzel a szükséges képest. A kézi mozgatás céljára egy működtető 53 kar látható, amely az 54 gyűrűhöz van rögzítve, ami viszont a 21 csőalakú elem 24 véglapjához van szerelve 55 csavarok segítségével. Amennyiben a 3. ábrán látható módon U-alakú 45 mágneseket alkalmazunk, úgy a 31 target szalagok három párt alkotnak; nevezetesen az 1-b, c-d, e-f párokat, amely párok mindegyike különböző bevonóanyagot tartalmaz. Dymódon, valahányszor a 21 csőalakú elemet elforgatjuk, mindig egy pár 31 target szalag kerül a 45 mágnesekkel s/embenlevő por las/tő helyzetbe. A találmány azonban a 45 mágnesek eltérő elrendezését is lehetővé teszi, »miáltal egyazon időben csak egyetlen 31 target szalagnak a porlasztása válik lehetségessé. A porlasztás létrejöttéhez szükséges katódfes/iíltséget a 21 csőalakú elemhez egyenfeszültségű energiaforrás (az ábrán nincs feltüntetve) szolgáltatja egy villamos 56 csatlakozón keresztül, amelynek gördülővágy csúszóérintkezői vannak a 21 csőalakú elemhez. A berendezés bármilyen alkalmas módon földelhető. A lényegében síkalakú, bevonandó S szubsztrátumókát a 11 bevonókamrában a 10 katós/crelvény alatt levő továbbító eszköz tartja, és továbbítja, amely továbbító eszköz 57 és 58 görgőket tartalmaz. Az 57 és 58 görgők egy vízszintes 59 rúdon vannak, amely 59 rúd 60 és 61 csapágyblokkokban van csapágyazva. A 60 és 61 csapágyblokkokat a 11 bevonókarnra 12 fenék fala tartja. Nyilvánvaló, hogy a fenti kiviteli példán számos változtatás és módosítás lehetséges anélkül, hogy a találmány szerinti kitanítástól, illetve az oltalmi körtől eltérnénk. Szabadalmi igénypontok 1. Forgatható porlasztó katód, amely hosszúkás, hengeres, csőalakú elemből, és a csőalakú elemet forgató szervből áll, azzal jellemezve, ho&- a porlasztandó bevonó anyaggal ellátott target eszköz a csőalakú elemre (21) eltávolíthatóan van rögzítve. 2. Az 1. igénypont szerinti forgatható porlasztó katód, azzal jellemezve, hogy a target eszköz több különálló target szalagból (31) áll. 3. A 2. igénypont szerinti forgatható porlasztó katód, azzal jellemezve, hogy a target szalagok (31) a csőalakú elem (21) hosszirányában helyezkednek el, és ennek kerületén egymással párhuzamosan, térközzel vannak elrendeve. 4. Az 1. igénypont szerinti forgatható porlasztó katód, azzal jellemezve, hogy a target eszköz több különálló target szalagból (31), áll, amelyek a csőalakú elem (21) hosszirányában helyezkednek el, és annak kerületén egymással párhuzamosan, térközzel vannak elrendezve, továbbá a target szalagokat (31) a csőalakú elemhez (21) eltávolíthatóan rögzítő eszközei vannak. 5 A 4. igénypont szerinti forgatható porlasztó katód, azzal jellemezve, hogy a rögzítő eszköz, a szomszédos target szalagok (31) között elhelyezett, s azokhoz kapcsolódó szorító eszközök. 6. Az 5. igénypont szerinti forgatható porlasztó katód, azzal jellemezve, hogy a rögzítő eszközök a szomszédos target szalagok (31) között elrendezett rögzítő lécek (33) amelynek egy része a hozzájuk kapcsolódó target szalagokat (31) átlapolják, és a rögzítő léceket (33) a cső alakú elmehez (21) rögzítő szervei vannak. 7. A 3. igénypont szerinti forgatható porlasztó katód, azzal jellemezve, hogy a csőalakú elemet (21 ) belülről hűtő eszköze van. 8. Az 1. igénypont szerinti forgatható porlasztó katód, azzal jellemezve, hogy a csőalakú elembe (21) mágneses eszköz van beszerelve. 9. A 3. igénypont szerinti forgatható porlasztó katód, azzal jellemezve, hogy a csőalakú elembe (21) mágneses eszköz van beszerelve, amely 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 3
