191712. lajstromszámú szabadalom • Mágneses katódporlasztó berendezés és ehhez való forgatható porlasztó katód
(19) HU MAGYAR népköztársaság SZABADALMI LEÍRÁS ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL (72) A bejelentés napja: (22) 1984. viil 16. (21) 3109/84 A bejelentés elsőbbsége: (33) US (32) 1983. VIII. 17. (31) 523,928 A közzététel napja: (42) 1985. vil 29. Megjelent: (45) 1987. XL 28. B (11) 191 712 Nemzetközi osztályjelzet: (51) NSZO, H 05 K 3/16 Mckdevey Harold E„ mérnök, Plymuth, Michigan, US (73) Shatterproof Qass Corp., Detroit, Michigan, US (SA) Mágneses katódporlasztó berendezés és ehhez való forgatható poriasz tókatód (57)KIVONAT A találmány tárgya egyrészről forgatható porlasztó katód, amely hosszúkás, hengeres, csőalakú elembő’ (21) és a csőalakú elemet (21) forgató szervből áll melyet az jellemez, hogy a porlasztandó bevonó í nyaggal ellátott target eszköz a csőalakú elemre (21 eltávolíthatóan van rögzítve. A találmány tárgya másrészről mágneses katód porlasztó berendezés, amely egy vákuum alá helyez hető bevonó kamrából (11) és a fentebb említett foi gatható kátédból áll. A mágneses katódporlasztó berendezés lényege hogy a katód egy hosszúkás, hengeres, csőalakú elemből (21) áll, amely a bevonókamrába (11)vízszintesen van beszerelve, a csőalakú elemen (21) körben, egymáshoz képest térközzel és párhuzamosan több különálló, a porlasztandó bevonóanyagot tartalmazó, hosszirányban húzódó target szalag (31) van elrendezve, a target szalagokat (31) a csőalakú elemhez (21) eltávolíthatóan rögzítő szerve van, továbbá a csőalakú elemet (21) hossztengelye körül forgatható szerve van amely által a kiválasztott target szalag (31) a mágneses eszközzel szembeni, porlasztó helyzetbe hozható, valamint a bevonandó szubsztrátumot (5) a bevonó kamrában (11) vízszintesen tartó és a mágneses eszköz előtt továbbító szerve van.
