191628. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető elrendezések előállítására

3

í 91 628

4

nyegében a földfémoxid- és vezérlő elektróda oxidréteg előállításából, poliszilicium leválasztásból, a leválasztott pohsziliciumrétegek, valamint a vezérlő elektróda oxidrétegének a formázásából, az emitter- és a kollektorszennyezés beviteléből, valamint az ilymódon létrehozott elülső oldalnak passzív és/vagy aktív félvezető elemekkel történő kiegészítéséből áll, azzal jellemezve, hogy a poliszilicium-Ieválasztás előtt a félvezető hordozóanyag hátoldaláról a teljes szigetelőréteget eltávolít- 5 juk.

Ábra nélkül