191373. lajstromszámú szabadalom • Eljárás különféle anyagok SIMS vizsgálatára szkenelő primer atomsugár használatával

191 373

NSZ04: GOI N 23/22;

HOI J 37/256

©/PRIMER ION ÁGYÚ

©MONITOR BLENDE

©/PRIMER ION SUGAR

@ ÜTKÖZÉSI TÉR

©ELEKTROMOS ERŐTÉR

©TÖMEGSPEKTROMÉTER

©GÁZ BEVEZETŐ NYILAS

2. ábra

5