191372. lajstromszámú szabadalom • Eljárás szigetelők sims vizsgálatára pásztázó ionsugaras berendezésben és berendezés az eljárás foganatosítására
(19) HU SZABADALMI "”191 372 MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG LEÍRÁS SZOLGALATI találmány B Nemzetközi osztályjelzet: (51 ) NSZO4 G01 N 23/22: H 01 J 37/09 ||j| A bejelentés napja: (22) 83. 07. 29. (21 ) (2703/83) ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL A közzététel napja: (41 ) (42) 85. 05.28. Megjelent: (45)88. 07. 20. /^TalálmákTT^^ í Szabadalmi Tár. ) % £ J Feltaláló(k): (72) Szabadalmas: (73) Marton Dénes, 24 %, Fábián István, 20 %, fizikusok, Behringer Tibor, 12 %, Hárs György, 12 %, Bori Lajos, 10 %, villamosmérnököl:, Budapest, Giger János, vegyészmérnök, 12 %, Makó Margit, műszaki tanár, 10 %, Budapest Budapesti Műszaki Egyetem, Budapest (54) ELJÁRÁS SZIGETELŐK SIMS VIZSGÁLATÁRA PÁSZTÁZÓ IONSUGARAS BERENDEZÉSBEN ÉS BERENDEZÉS AZ ELJÁRÁS FOGANATOSÍTÁSÁRA (57) KIVONAT A találmány tárgya eljárás szigetelő anyagok SIMS vizsgálatára pásztázó ionsugaras berendezésben és berendezés az eljárás foganatosítására. A találmány szerinti eljárás elsősorban tömbszerü szigetelő anyagok, vagy vastag szigetelő rétegek vizsgálat teszi lehetővé hagyományos SIMS berendezésben. A találmány szerinti eljárás a szigetelők ionsugaras vizsgálatánál fellépő feltöltődés elektronsugaras kompenzációjának elvégre épül. Egy kompenzáló elektronsugarat bocsátunk a mintának a primer ionsugárral vizsgált felületi pontjára és a kompenzáló elektronsugár áramát szabályozzuk. A szabályozáshoz egy segéd elektronsugarat alkalmazunk, amelyet a minta esetleges feltöltődése eltérít, ami lehetővé teszi a szabályozást. A találmány szerinti berendezés a szokásos SIMS berendezés olyan kiegészítése, amelynek fő részei (az 1. ábra szerint): a pásztázó primer ionforrással (3) szinkronizáltan működő pásztázó kompenzáló elektronforrás (7), a primer ionforrással szintén szinkronizált segéd elektronforrás (10), a segéd elektronsugár (11) eltérülését érzékelő detektor rendszer (16), valamint a detektor rendszer jelét átalakító, a kompenzáló elektronforrás szabályozó jelét szolgáltató egység (1. ábra). 1 1. ábra
