191309. lajstromszámú szabadalom • Czochralski-módszerű kristálynövesztő berendezés
3 191 309 4 biztosítására szolgál a 13 tartóban. A 14 menetes orsó elfordításával változtatható az 1,2 tekercsrészek távolsága, amelycl a 10 csőmcmbrán kompenzál. A nagyfrckvcnciájú fűtőrendszer 1,2 tekercsrészei közötti távolságot változtató készüléknek a 2. ábrán látható változata alapfelépítését tekintve az 1. ábrán látható megoldással azonos. A két 1, 2 tekercsrész közötti 18 összekötődarab hosszkiegyenlítése itt azonban nem csőmembránnal történik, hanem azáltal, hogy a 18 összekötődarab hurokszerűen van kiképezve. A hőinérsékletgrandiensnek a 7 utánfutóben való meghatározott változtatása a növesztés alatt az olvasztótégely és az útánfűtő közötti távolság változtatásával is megoldható, miközben a fűtőrendszer 1, 2 tekercsrészei rögzítve vannak. E változat egy előnyös kivitelezését mutatja a 3. ábra. A növcsztőbcrcndczésnck nagyfrekvenciás fűtőrendszerrel és tégely-utánfűtő-rendszcrrel ellátott alapfelépítése az 1. ábrán látható elrendezésnek felel meg. A távolság változtatására szolgáló készülék az alábbiakban leírt módon van kialakítva. Az aktív 7 útánfűtő felső vége egy kerámiából készült 19 tartóra van rögzítve, amely egy függőleges 20 csúszó megvezetésre van felfogva. A 19 tartóban egy 21 menetes orsó van csapágyazva, és a 22 gyűrű és a 23 biztosítógyűrű segítségével van rögzítve. A rögzített 24 tartóban egy 25 orsóanya van, amely a 21 menetes orsóhoz csatlakozik. A 21 menetes orsó forgómozgása a 7 útánfűtő függőleges irányú elmozdulását eredményezi és megváltoztatja annak távolságára 4 olvasztótégelyhez képest. Az előzőekben ismertetett eszközökkel a fűtőrendszer tekercsrészei közötti távolság és az olvasztótégely és az útánfűtő közötti távolság is változtatható egy készüléken belül. A távolságváltoztatásokat előre meghatározott módon szinkronizálni lehet (az ábrákon ez nem látható). A találmánynak megfelelően kialakított kristálynövesztő berendezés lehetővé teszi a hőmérsékleti viszonyok növesztés közbeni befolyásolását a fázis- i határon, és ezáltal egy megközelítően állandó növesztés! front-alak elérését. Ez pozitív módon befolyásolja a növesztett kristály minőségét. Ilyen reálstruktúrahiba nélküli kristályokra van szükség például felületi hullámszűrőkhöz, optoelektronikus eszközökhöz, valamint holográfiái eszközökhöz és kémiai elemek alapkristályaihoz. SZABADALMI IGÉNYPONTOK 1. Czochralski-módszerű kristály növesztő berendezés, olvasztótégelyt és fölötte elhelyezett utánfűtőt körülfogó nagyfrekvenciás fűtőrendszerrel, amely két sorbakapcsolt, azonos nagyfrekvenciás áram által átjárt tekercsrészből áll, ahol az alsó tekercsrész az olvasztótégelyt, a felső lekeresi ész pedig az utánfűtőt veszi körül, azzal jellemezve, hogy n növesztés alatt az energia be vezetés az útánfűtő térbe a fűtőrendszer és/vagy a tégely-utánfűtő-rendszer geometriájának megváltoztatásával változtatható. 2. Az 1. igénypont szerinti kristály növesztő berendezés, azzal jellemezve, hogy a fűtőrendszer két tekercsrésze (1, 2) közötti távolság változtatható. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti kristálynövesztő berendezés, azzal jellemezve, hogy a két tekercsrész (1,2) csőmembránnal (10) van összekötve. 4. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti kristálynövesztő berendezés, azzal jellemezve, hogy a két tekercsrész (1, 2) egy hurokalakú összekötődarabbal (18) van összekötve. 5. Az 1. igénypont szerinti kristálynövesztő berendezés, azzal jellemezve, hogy rögzített tekercsrészek (1, 2) mellett az olvasztótégely (4) és az útánfűtő (7) közötti távolság változtatható. 6. Az 1. igénypont szerinti kristálynövesztő berendezés. azzal jellemezve, hogy mind a fűtőrendszer tekercsrészei (1,2) közötti távolság, mind az olvasztótégely (4) és az útánfűtő (7) közötti távolság változtatható. 7. Az 1-6. igénypontok bármelyike szerinti kristálynövesztő berendezés, azzal jellemezve, hogy távolságváltoztató csavarmeghajtással van ellátva. 5 10 15 20 25 30 35 40 3 rajz, 3 ábra
