191309. lajstromszámú szabadalom • Czochralski-módszerű kristálynövesztő berendezés
(19) HU MAOYAR népköztArsasAo SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY (21) 1647/84 (22) A bejelentés napja: 84. 04. 27. A bejelentés elsőbbsége: (33) DD. (32) 83.04.29. (31) (WPC 30 B/250 373-0) (11) (13) 191 309 B Nemzetközi osztályjelzet: (5I) Int. Cl.4: C 30 B 15/14 ORSZÁGOS találmányi HIVATAL (41) (42) Közzététel napja: 85. 12 30. (45) A leírás megjelent: 89.09.29. Szabadalmi Tár. ’ * ■^ajdona *■* Feltaláló(k): (72) HERMONE1T Bernd, oki. mérnök, Berlin, REICHE Peter, oki. mérnök, Eicluvaldc, DD, dr. PAITZ József, fizikus, Budapest Szabadalmas: (73) MTA Központi Fizikai Kutató Intézete, Budapest CZOCHRALSKI-MÔDSZERÜ KR1STÁLYNÖVESZTŐ BERENDEZÉS (54) (57) KIVONAT A találmány egykristályoknak olvadékból való növesztésénél alkalmazható. A javasolt kristálynövesztő berendezés olyan nagyfrekvenciás fűtőrendszerrel rendelkezik, amely két sorbakapcsolt azonos nagyfrekvenciás áram által átfolyt tekercsrészből (1, 2) áll, ahol az alsó tekercsrész (1) az olvasztótégelyt (4), a felső tekercsrész (2) pedig az utánfűtőt (7) veszi körül. A találmánynak megfelelően különböző megoldások szolgálnak arra, hogy a növesztés alatt az energiabevitelt az utánfötőtérbe a fűlőrendszer illetve a tégcly-utánfíitő-rcndszer geometriájának megváltozatásával változtatni lehessen. Az egyik megoldásnál a fűtőrendszer két tekercsrésze (1, 2) közötti távolság, a másiknál pedig stabil tekercsrészek mellett az olvasztótégely (4) és az utánfűtő (7) közötti távolság változtatható. A távolságváltoztatások rugalmas tagokhoz való csatlakozással, csavarhajtás segítségével történnek a tekercsrészek között. (1. ábra) 12 17
