191204. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és elrendezés félvezető analóf kapcsoló kialakítására

(19) HU

MAGYAR

NÉPKÖZTÁRSASÁG

ORSZÁGOS

TALÁLMÁNYI

HIVATAL

LEÍRÁS

SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY

SZABADALMI

A bejelentés napja: (22) 83. 03. 22.

(21) (940/83)

A közzététel napja: (41) (42) 84. 11. 28. Megjelent: (45) 88. 12. 15.

(11

191 204

Nemzetközi osztályjelzet: (51) Int. CI.4 H01 L 29/74

A)'

s Találmány^

EöfcaíJsImi Tár. ' **)

-* ■ fiiV

:-5CAJí!OMA

Feltalálóik): (12)

SZUHÁR Mihály, 45%, SZŰCS Ferenc Károly, 15%, villamosmérnökök, ZIMMER György, fizikus, 40%., Budapest

Szabadalmas: (73)

MTA Központi Fizikai Kutató Intézete, Budapest

(54)

ELJÁRÁS ÉS ELRENDEZÉS FÉLVEZETŐ ANALÓG KAPCSOLÓ KIALAKÍTÁSÁRA

(57) KIVONAT

Az eljárás során egy félvezető alapanyagban két, egy első és egy második, az alapanyaggal ellentétes vezetési típusú réteget hozunk létre, majd az így létrejött első rétegben a félvezető alapanyaggal megegyező típusú harmadik réteget alakítunk ki. Az alapanyag felületén szigetelőréteget, például oxidréteget hozunk létre, melyen kontaktus ablakokat nyitunk. Az első réteg felülettel határos része fölötti szigetelő rétegen egy elektródát alakítunk ki. Végül a második és harmadik réteget, valamint az elektródát kivezetésekkel látjuk el. Az első és harmadik réteg, valamint az alapanyag által létrejött tranzisztor, illetve az alapanyag, valamint az első és második réteg által létrejött tranzisztor földelt bázisú áramerősítési tényezőinek összegét az alkalmazási tartományban * egynél kisebbre állítjuk be.

Az elrendezésnek szigetelő réteggel bevont és kontaktus ablakkal ellátott félvezető alapanyagában azzal ellentétes vezetési típusú első és második rétege, az első rétegben az alapanyaggal megegyező típusú harmadik rétege, továbbá az első réteg felülettel határos része fölötti szigetelő rétegen gyújtó elektródája van. A harmadik réteg első kivezetéssel, a második réteg második kivezetéssel, a gyújtó elektróda pedig harmadik kivezetéssel ren delkezik.

A találmány szerinti eljárás cs elrendezés alkalmazásával meghajtó áramot nem igénylő ki/bekapcsolásra alkalmas félvezető analóg kapcsolót kapunk, mely több egymással logikai ÉS-kapcsolatban álló, vezérlő elektróda alkalmazása esetén több dimenziós kapcsoló mátrix kialakítására is alkalmas. (5. ábra)

16 20