191152. lajstromszámú szabadalom • Eljárás AIIIBV vegyületfélvezető szeletek kontaktusainak előállítására
1 191152 SZABADALMI IGÉNYPONTOK 2 A felpárologtatott rétegszerkezetet hőkezelésnek vetjük alá. Az 55 súlyszázalék germániumot tartalmazó ötvözet eutektikumot képez, amelynek olvadáspontja 423 °C. A kísérletek szerint a hőkezelés optimális hőmérséklete az olvadáspont 423 °C és az 500 °C által határolt értékek 5 közé esik. A hőkezelés előnyösen hidrogénben vagy formálógázban végezhető el. A hőkezelés elvégzése történhet hagyományos módon, erre a célra alkalmassá tett csőkályhában vagy impulzus módszerrel, mint ez a N° 173.621 lajstromszámú magyar 10 szabadalmi leírásban található. Összefoglalva, a találmány szerinti eljárás előnyös hatásait megvizsgálva megállapítható, hogy e módszer alkalmazása garantálja a megfelelő villamos tulajdonságú kontaktusok kialakítását, az alábbi műszaki-gazdasági 15 előnyök mellett: — a rendszerben nincs nemesfém — a kötések megvalósításához alumínium huzal is használható, ami további nemesfém-megtakarítást eredményez. 20 1. Eljárás AinBv vegyületfélvezető szeletek ohmos kontaktusainak előállítására, amelynek során a szeletek felületét előkészítjük, majd erre felvisszük az ohmos kontaktusréteget, maszkoljuk, maratjuk és végül hőkezelést hajtunk végre, azzal jellemezve, hogy az ohmos kontaktusok anyagaként 40...55 súlyszázalék germániumot ‘artalmazó alumínium-germánium ötvözetet használunk. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az 1. igénypont szerinti ötvözetet az egyes komponensekből különálló rétegenként párologtatjuk fel. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás foganatosítád módja, azzal jellemezve, hogy a szeletre párologtatott kontaktusrétegre nikkelréteget, erre termokompressziós vagy ultrahangos kötésnek megfelelő vastagságú alumínium réteget viszünk fel. 4. Az 1—4. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a fémezett és maszkolt szeletet H3P04 és BS 5=1 arányú keverékében marjuk, ahol a BS összetétele: 6 cm3 50%-os HN03 9 cm3 H20 2 g borkősav. (Ábra nélkül) 3
