191152. lajstromszámú szabadalom • Eljárás AIIIBV vegyületfélvezető szeletek kontaktusainak előállítására
(19) HU MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS m)191 152 SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY B ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL A bejelentés napja: (22) 84.06.13. (21) 2267/84 A közzététel napja: (41) (42) 86.04.29. Megjelent: (45) 88. 11. 03. Nemzetközi osztályjelzet: (51) NSZO4 H 01 L 21/285 Feltalálóik): (72) Szabadalmas: (73) dr. KOVÁCS Balázs, old. villamosmérnök, dr. MOJZES Imre, oki. villamosmérnök, a műsz. tud. kandidátusa, NEMETHNE SALLAY Margit, oki. vegyész, Budapest Vasziljev Szergej Voldemarovics, oki. villamosmérnök, Garaszimenko Nyikolaj Nyikolajevics, fizikus a fizikai-matematikai tud. kandidátusa, Novoszibirszk, SU MTA Műszaki Fizikai Kutató Intézete, Budapest (54) ELJÁRÁS Aiiißv VEGYÜLETFÉLVEZETŐ SZELETEK KONTAKTUSAINAK ELŐÁLLÍTÁSÁRA (57) KIVONAT A találmány tárgya eljárás kedvező villamos paraméterekkel rendelkező ohmos kontaktus előállítására AUIBV típusú vegyületfélvezetőkön, melynek során a vegyületfélvezető szelet felületét előkészítjük, majd erre felviszszük az ohmos kontaktusréteget, maszkoljuk, maratjuk és végül hőkezelést hajtunk végre. A megoldás lényege abban van, hogy az ohmos kontaktus kialakítására 40.. .55 súlyszázalék germániumot tartalmazó alumínium-germánium ötvözetet előnyösen különálló rétegekként párologtatjuk fel. E megoldásnál a rétegeket formálógázban vagy hidrogénben 423...500 °C-on 1.. .300 másodpercig hőkezeljük.
