191065. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés ion implantációra, célszerűen integrált áramkörök előállításához

1

191 065

2

vezérelt elektrostatikus és/vagy magnetostatikus fegyverzet útján eltérítjük a felületegységre eső anyagáramot adott esetben mágneses fókuszálással változtatjuk és a részecskéket az áramköröket hordozó target térben előre meghatározott helyeire 5 juttatjuk.

2. Berendezés az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítására, azzal jellemezve, hogy katódsugárcsőként kiképzett ion- és/vagy elektronkibocsátó forráshoz (1) vezérlőelektróda (2) közbejöttével 10 a sugárzás szimmetriatengelyébe helyezett anód (3) - és ennek folytatását képező gyorsító anódhenger

(4) illeszkedik s ez utóbbihoz számítógéppel (10) vezérlő kapcsolatban álló elektrostatikus és/vagy magnetostatikus fegyverzetpár (5, 6) kapcsolódik, amikor is az említett fegyverzetpár folytatását fókuszáló és utógyorsító elektródák (6) képezik, és ezek környezetében a sugárnyaláb útjára merőlegesen vagy közel merőlegesen tájolva target (9) helyezkedik el.

3. A 2. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a target (9) célszerűen digitális vezérlésű, több szabadságfokkal rendelkező íépető-mozgató eszközzel rendelkezik.

1 oldal rajz

Kiadja az Országos Találmányi Hivatal A kiadásért felel: Himcr Zoltán osztályvezető Szedte a Nyomdaipari Fényszedő Üzem (878T40 ()S>) 88-1280 — Dabasi Nyomda, Budapest — Dabas Felelős vezető: Bálint Csaba igazgató