190986. lajstromszámú szabadalom • Eljárás nedvesség- és/vagy gőzérzékeny interferenciatükör (elszűrő) vagy interferenciaszűrő (sávszűrő) előállítására, valamint eljárás és berendezés levegőben vagy más gázban levő relatív nedvességtart és/vagy gőztartalom, illetve ezek változásainak mérés
(10) HU MAQYAIt NÍPKÖZTÁKBA9ÁO SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY ni) 190 986 B OKSZÁOOS TALÁLMÁNYI HIVATAL A bejelentés napja: (22) 82.05. Í8. (21) 1562/82 közzététel napja: (41) (42) 1984. 02. 28. Megjelent: (45) 1988. Vili. 31. Nemzetközi osztályjelzet: (51) NSZO„ GOI N 21/17 ^Ttalálmánw^js Szabadalmi Tár. ' TULAJDON*, Feltalálóik): (72) Szabadalmas: (73) KROÓ Norbert, fizikus, LUTTER András, vegyészmérnök, RUBIN MTA Központi Fizikai Kutató Intézet, Budapest György, villamosmérnök, Budapest (54) ELJÁRÁS NEDVESSÉG ÉS/VAGY GÖZÉRZÉKENY INTERFERENCEATÜKÖR (ÉLSZÜRÖ) VAGY INTERFERENCIASZURŐ (SÁVSZŰRŐ) ELŐÁLLÍTÁSÁRA, VALAMINT ELJÁRÁS ES “ BERENDEZÉS LEVEGŐBEN VAGY MÁS... (57) KIVONAT A találmány tárgya eljárás és berendezés levegőben vagy más gázban lévő relatív nedvességtartalom és/vagy gőztartalom, illetve ezek változásainak mérésére. A találmány szerint keskenysávú fényforrással fénynyalábot állítunk elő, majd a fénynyalábot közvetlenül vagy közvetve legalább egyszer egy nedvesség és/vagy gőzérzékeny interferenciatükrön (élszűrőn) vezetjük át. Ezután az átmenő fénynyalábot érzékeljük és az érzékelt jelet erősítjük. Erősítés után közvetlenül vagy közvetve megjelenítjük. Ha a fénynyalábot interferenciaszűrőn (sávszűrőn) vezetjük át, akkor az interferenciaszűrő hullámhossz eltolódását úgy mérjük, hogy az interferenciaszűrőt a fénynyaláb irányában elforgatjuk és az áteresztési maximumot megkeressük. A találmány szerinti berendezésnek láncbakapcsolt tápfonása és keskenysávú fényforrása van. Ezenkívül á fényforrás fénynyalábjának irányába nedvesség és/vagy gőzérzékeny interferenciatükre (élszűrője) vagy interferenciaszűrője (sávszűrője) van. Az átmenő fénynyaláb érzékelésére fényérzékelője, valamint a fényérzékelő kimenetére láncbakapcsolt erősítője és megjelenítője van. Interferenciaszürő alkalmazása esetén az erősítő és a megjelenítő között analóg vagy digitális szélsőérték-beállító egysége, továbbá analóg feszültség- vagy digitális impulzus-szögelfordulás-átalakítója van, melynek az interferenciaszűrő szerkezeti részét képezi. A találmány tárgya továbbá eljárás nedvesség és/vagy gőzérzékeny interferencia tükör (élszűrő) vagy interferencia szűrő (sávszűrő) előállítására. Ennek során átlátszó hordozóra váltakozva kis és nagy törésmutatójú, célszerűen szilícium-dioxid, illetve titándioxid rétegeket viszünk fel vákuumpárologtatással. A vákuumpárologtatás kezdetén az átlátszó hordozót 300-350 °C-ra melegítjük, előnyösen 1/4 vastagságú rétegek felvitelét kezdjük meg, majd a hordozó hőmérsékletét a párologtatás befejezéséig fokozatosan 400-450 °C-ig növeljük, miközben a párologtatást előnyösen 5-10x10“4 mbar nyomás mellett 1-5x 10“'° m/s sebességgel végezzük. lobra
