190959. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés szilárd anyagok ionokkal történő besugárzására
(19 )HU MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY SZABADALMI B o A bejelentés napja: (22) 84.04.20. (21) 1535/84 ORSZÁGOS A közzététel napja: (41) (42) 1985. 12. 30. TALÁLMÁNYI HIVATAL Megjelent: (45) 1989. II. 28. <11> 190 959 Nemzetközi osztályjelzet: (51) NSZ04 HOI L21/265 H 01 L 21/425 H 01 J 37/30 S:sb3da'mi Tár. ' . ' TULAJDONÉ Feltaláló(k): (72) Dr. GYULAI József, tud. tanácsadó, KIRÁLYHIDI László, tud. munkatárs, dr. KRAFCSIK István, villamosmérnök, RIEDL Péter, feji. mérnök, Budapest Szabadalmas: (73) MTA Központi Fizikai Kutató Intézete, Mikroelektronikai Vállalat, Budapest (54) ELJÁRÁS ÉS BERENDEZÉS SZILÁRD ANYAGOK IONOKKAL TÖRTÉNŐ BESUGÁRZÁSÁRA (57) KIVONAT A találmány elsősorban szilárd anyagok felületi szerkezetének és/vagy összetételének megváltoztatására, adalékolásra, kémiai lebontásra, megolvasztására, és újraszilárdítására, - beleértve a folyadék és szilárd fázisú epitaxiális kristálynövesztést is - alkalmazható. A találmány szerinti eljárás során az ionbesugárzást repetitív impulzusokkal végezzük. A javasolt berendezésben egy töltőegység egyik kimenete lökésgerjesztő egyik bemenetére, másik kimenete egy forrásmágnes energiatároló egyik bemenetére van kapcsolva. A forrásmágnes energiatároló másik bemenete egy gyújtótápegység kimenetével van összekötve. A forrásmágnes energiatároló kimenete egy indítóegység bemenetére csatlakozik, amelynek egyik kimenete egy ionforrás egyik bemenetére, másik kimenete pedig a lökésgerjesztő másik bemenetére van kapcsolva. A lökésgerjesztő kimenete az ionforrás másik bemenetével van összekötve. A berendezésnek egy vezérlő egysége (27) van, amelynek egyik kimenete a gyújtó tápegység (25) bemenetére, másik kimenete pedig a töltőegység (26) bemenetére csatlakozik. A töltőegység áramgenerátorokat tartalmaz és egy további kimenete egy feszültségkorlátozó egység (28) bemenetére ennek kimenete pedig a vezérlő egység (27) egyik bemenetére van kapcsolva. Az ionforrás (21) kimenete egy target-egység (211) bemenetével, ennek kimenete pedig egy implantálást ellenőrző egységen (29) át a vezérlő egység (27) másik bemenetével van összekötve. A lökésgerjesztő (22) másik kimenete egy implantert ellenőrző egység (210) bemenetére csatlakozik.
