190855. lajstromszámú szabadalom • Berendezés szilárd anyagú minták ionsugaras megmunkálásához és ionforrás a berendezéshez
5 190.855 6 tatartón belül a vékonyítandó minta forgási középpontja beállítható. Ez lehetővé teszi:- a minta hátoldali porlódásának ellenőrzését optikai mikroszkóppal. g- az említett gyűrűtartomány maratási lehetőségével együtt, illetve az ionsugár intenzitáseloszlásának figyelembe vételével, viszonylag nagy átmérőjű (Si 0,5 mm), transzmissziós elektronmikroszkópos vizsgálati tartomány kialakítását. 10- a mintán nem szükségképpen középen lévő, előre kiválasztott terület vékonyítását (célpreparáció). c) Az ionsugár hatására világító mintatartó lehetővé teszi az ionágyúk, illetve a mintatartó helyzetének pontos beállítását, illetve a töltéshatásokra bekövetkező ionsugár-elcsúszások üzem közbeni gyors korrigálását. Szabadalmi igénypontok 20 1. Berendezés szilárd anyagú minták ionsugaras megmunkálásához, célszerűen ezek vékonyítására, amelynek vákuumtérben elhelyezett, a megmunká- ^g landó mintát tartó mintatartója és legalább két ionforrása van, és ahol a mintatartó és az ionforrások egymáshoz képest központi forgástengely körül elfordíthatóan vannak ágyazva, azzal jellemezve, hogy a mintatartó (6) és az ionforrások (II és 12) 30 egymástól függetlenül további forgástengelyek (8, illetve 2 és 4) körül elforgathatóan és ezen forgástengelyek (8, 2, 4) mentén eltolhatóan vannak ágyazva. 2. Az 1. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja azzal jellemezve, hogy a mintatartónak (6) legalább a mintát (5) közvetlenül körülvevő része titánból van. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti berendezés kiviteli 40 alakja, azzal jellemezve, hogy az ionforrások (II, 12) forgástengelyei (2, 4) párhuzamosak és a vákuumteret határoló fal egy közös forgóbevezetőjén (1) vannak ágyazva. 4. Az 1-3. igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a mintatartó (6) a forgóbevezető (1) tengelyével egybeeső forgástengely (8) körül elfordíthatóan és annak mentén eltolhatóan van ágyazva. 5. Az 1-4. igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a mintatartót ((>) saját síkjában forgató szerkezete van, és a mintatartó (6) a minta (5) forgásközéppontját változtatható módon van kialakítva. 6. Az 1-5. igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az ionforrások (11,12) a kilépő ionsugarat eltérítő, vezérelhető rendszerrel vannak ellátva. 7. Ionforrás nagy áramsűrűségű, kis átmérőjű ionsugár előállítására, különösen az 1. igénypont szerinti berendezéshez, amely ionforrásnak közepén nyílással ellátott anódja és az anód két oldalán elhelyezett üreges katódja van, azzal jellemezve, hogy az üreges katód mindkét része (31, 32) az anód felőli nyitott oldalán szűkülettel (44), másik oldalán pedig az anód (33) felé benyúló, célszerűen kúpos résszel (45) van ellátva. 8. A 7. igénypont szerinti ionforrás kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az anódnak (33) a kilépő oldalon lévő katódrész (31) felé táguló kúpos középponti furata (34) van. 9. A 7. vagy 8. igénypont szerinti ionforrás kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az ionforrás kilépő oldalán lévő katódrésznek (31) befelé szélesedő kilépő nyílása (46) van. 10. A 7-9. igénypontok bármelyike szerinti ionforrás kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a kilépő oldali katódrész (31) után egy, vagy több eltérítő elektród van elhelyezve. 4 db rajz Kiadja az Országos Találmányi Hivatal A kiadásért felel: Himer Zoltán osztályvezető Megjelent a Műszaki Könyvkiadó gondozásában Készült a Borsodi Nyomdában Felelős vezető Horváth Ferenc 4
