190455. lajstromszámú szabadalom • Eljárás földelt fémtubusú és klönböző előjelű elektromos töltésű részecskék detektálására használt elektronsokszorozó beeső ionok számára vonatkoztatott erősítési tényezőjének stabilizálására, és berendezés az eljárás foganatosítására
1 190 455 2 vő térrész potenciálja mindig negatívabb legyen az összes dinódánál. A 3. ábra középső részén az 1 elektronsokszorozó helyezkedik el. Az 1 elektronsokszorozót körülvevő 2 árnyékoló henger a 9 kerámiagyűrűhöz oldhatatlanul rögzítve van. A 9 kerámiagyűrű a 12 vákuumkarima elektromos bevezetővel alkatrészhez van rögzítve oldható módon. A 8 árnyékoló henger kivezetése a vákuumtéren belül 2 árnyékoló hengerrel fémesen vezeték segítségével össze van kötve. A 12 karima elektromos bevezetővel alkatrész a 3 vákuumkamrához a 11 rögzítőcsavarok segítségével rögzül. A vákuumzárást a 10 tömítőgyűrű biztosítja. A 4 első dinóda fémesen vezeték segítségével össze van kötve az 5 első dinóda kivezetésével. A 6 kollektor kivezetés és a 7 utolsó dinóda kivezetés fémesen vezeték segítségével össze van kötve az elnevezésük szerint nekik megfelelő elektródákkal. A berendezés a következőképpen működik. Az elektronsokszorozó első dinódája az úgynevezett konverziós dinóda. Az elnevezés magyarázata az, hogy ez a dinóda ionbecsapódására elektront képes kibocsátani. A további dinódák szekunder emissziós tényezője nagyobb egynél, vagyis ezek a dinódák több szekunder elektront bocsátanak ki, mint amennyi becsapódott. Egy ellenállásosztólánc segítségével a dinódákra potenciállépcsőt kapcsolunk, így valamely dinódán létrejövő szekunder elektronok a következő dinódára csapódnak és kaszkádszerűen megsokszorozódnak. A találmány lényegét képező 2 árnyékoló henger az első dinódával össze van kötve és így a többi dinóda mindig pozitívabb mint az őket körülvevő környezet. Ezáltal tehát megakadályoztuk, hogy a létrejövő szekunder elektronok az 1 elektronsokszorozót elhagyják. A találmány szerinti eljárás előnyös tulajdonsága pozitív ionok detektálása esetén, hogy megakadályozza a keletkezett szekunderelektronok nem kívánatos eláramlását az 1 ejektronsokszorozóról és igy egy nagyságrenddel megnöveli a sokszorozó erősítését. További előnye, hogy negatív ionok detektálása alkalmával az erősítés értékét nem befolyásolja és így az kellően magas érték marad. A berendezésnél a 2 árnyékoló henger anyagaként célszerű molibdént alkalmazni, mert nem ferromágneses tulajdonságú és mert telítési gőznyomása igen alacsony. Ultravákuum alkalmazásokban más nem ferromágnes anyagok (sárgaréz, alumínium) azért nem alkalmazható, mert a 10 8 Pa háttérnyomás értéknél és az esetenként előforduló 250 °C hőmérsékleten telítési gőznyomásuk vagy a bennük levő szennyezők telítési gőznyomása összemérhető lenne a háttérnyomás értékével. Ekkor 5 pedig ezen összetevők intenzív párolgásukkal elszennyeznék a vákuumberendezést. A találmány célszerűen kivitelező elrendezés előnye az, hogy minden nehézség nélkül felszerelhető a jelenleg használt SIMS berendezések elektron^ sokszorozóira. Az eszköz elkészítése egyszerű anyagigénye csekély, és az egyszeri beállítást követően további kezelést nem igényel. Karbantartási igénye kisebb mint az elektronsokszorozóé, így az elektronsokszorozó karbantartásakor ennek kar- 15 bantartása is elvégezhető. Szabadalmi igénypontok 20 1. Eljárás földelt fémtubusú és különböző előjelű elektromos töltésű részecskék detektálására használt elektronsokszorozó beeső ionok számára vonatkoztatott erősítési tényezőjének stabilizálására dinódákból felépített elektronsokszorozót haszná- 25 lünk, azzal jellemezve, hogy az elektronsokszorozót (1) körülvesszük valamely nem ferromágneses vezetőanyagból készült árnyékoló hengerrel (2), az árnyékoló hengert (2) galvanikusan elszigeteljük környezetétől és fémes kivezetéssel látjuk el, ame- 30 lyet kivezetünk a vákuumrendszerből, az árnyékoló hengerre az első dinóda (4) potenciáljával megegyező potenciált kapcsolunk, eközben a vákuumrendszert 10 3 Pa-10 8 Pa nyomástartományban mű, ködtetjük, a hőmérsékletet szobahőmérséklet és 35 250 °C között tartjuk. 2. Berendezés az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítására amely vákuumkamrában (3) elhelyezkedő karimával (12) és tömítőgyűrűvel (10) ellátott dinódákból felépített elektronsokszorozót (1 ) 40 tartalmaz, azzal jellemezve, hogy az elektronsokszorozót (1) körülvevő árnyékoló henger (2) a kerámiagyűrűhöz (9) oldhatatlanul van rögzítve, az árnyékoló henger (2) kivezetése (8) a vákuumtéren belül az árnyékoló hengerrel (2) fémes vezetékkel 45 van összekötve, a kerámiagyűrű (9) az elektromos bevezetőkkel ellátott karimához (12) oldható módon van rögzítve. 3. A 2. igénypont szerinti berendezés azzal jellemezve, hogy az árnyékoló henger (2) anyaga célsze-50 rűen molibdén. 2 oldal rajz 3
