189741. lajstromszámú szabadalom • Jelölés félvezetőhordozó automatikus pozicionálásához, valamint eljárás a jelölés előállítására
(19) HU MAGYAR népköztársaság SZABADALMI LEÍRÁS A bejelentés napja: (22) 1983. IX. 2. (21) 3079/83 A bejelentés elsőbbsége: (33) DD (32) 1982. IX. 2. (31) WP H 01 L/242 963-1 _______________________________________ B (11) 189741 Nemzetközi osztályjelzet: (51) NSZO, H01 L 21/306 HOI L 21/465 ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL A közzététel napja: (42) 1984. v. 28. Megjelent: (45) 1987. XI. 13. (72) (73) Westphal Peter, Andritzke Lothar, Proff Rainer, fizikusok, Beyer Christian, mérnök, Drezda, Waldmann Georg, tudós, Apolda, DD VEB Zentrum flir Forschung und Technologie Mikroelektronik, Drezda, DD (54) Jelölés félvezetőhordozó automatikus pozicionálásához, valamint eljárás a jelölés előállítására (57)KIVONAT A találmány szerinti félvezetőhordozó felületi rétegében létrehozott, piramisalakú mélyedésekkel rendelkező jelölésnél a mélyedések-legalább két, előnyösen egymást merőlegesen keresztező maratási csatornaként (3, 3.1) vannak kialakítva, a csatornák (3, 3.1) hossztengelyükre merőleges, szimmetrikus és egymást periodikusan követő eltérő méretű mélyedéseket tartalmaznak, melyeknek szomszédos körvonalélei egymással érintkeznek. A jelölés előállítására szolgáló találmány szerinti eljárás során a létrehozott jelölésszerkezetet izotróposan után maratjuk mindaddig, amíg a szomszédos körvonalélek a maratási csatornákon (3, 3.1) belül érintkeznek és a maratási oldalak (6) felületei durvítottak lesznek. (1. ábra) 31
