188360. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető eszközök felületének elektromos mechanikai és kémiai védelmére
1 2 188 360 Az így felületvédett eszköz a további technológiai műveletek során (folyasztószeres felforrasztás, Araldit XB 2953-mal modullá történő kiöntés stb.) elektromos paramétereit változatlanul megőrzi. Ezt nem tapasztaltuk, amikor csupán szilikongyantaoldattal végeztük a felületvédelmet. Szabadalmi igénypontok 1. Eljárás félvezető eszközök felületének elektro- - mos, mechanikai és kémiai védelmére, amelynek során a félvezető anyagot kémiai marásnak vetjük alá, megszárítjuk, és felületvédő réteggel vonjuk be, azzal jellemezve, hogy a félvezető eszköz aktív felü- 15 létére szilikon-gyantaoldatból és félvezető tisztaságú, tinomeloszlású, alkálimentes szilikátüvegporból álló szuszpenziót kenünk, ezt kiszárítjuk és polimerizáljuk. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy cink-bór-szilikátü! vegport és/vagy ólom-bór-szilikátüvegport és/vagy ólom-aluminium-bór-szilikátüvegport alkalma- 5 zunk. ' 3. Az 1. vágy 2. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a szilikátüvegpomak nátriumoxid és káliumoxid tartalma 100 ppm alatt,’lítiumoxid tartalma 20ppm alatt, 10 nehézfém tartalma pedig 10 ppm alatt van. 4. Az 1-3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a szilikátüvegporok szemcséinek 95%-a 10 pm-nél, illetve 50%-a 4 pm-nél kisebb méretű. 5. Azl-4. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a szilikátüvegport összekeverés előtt 200 °C-on vákuumban szárítjuk. Ábra nélkül 3
