188359. lajstromszámú szabadalom • Eljárás szilícium szelet nagy mechanikai szilárdságú fémréteggel történő bevonására kémiai redukcióval
1 2 A találmány szerint ezután hidrogénfluorid és víz 1 : 1 arányú oldatában 1,5 percig marjuk. A marási hőfok 20 °C. Deionvízben történő tízszeres öblítés után a szilícium szeletet egy hangolható ultrahangos mosóberendezés munkaterében lévő vékonyfa- 5 lú üvegedénybe helyezzük. A közvetítő közeg deionvíz. A rázási frekvenciát a 10 perc rázási időtartam alatt egyenletes sebességgel változtatjuk oly módon, hogy percenként kétszer végigpásztázzuk a teljes, 20kHz-től 40kHz-ig terjedő rázási frek- 10 vencia tartományt. A szemcsemaradványok, illetve a laza réteg felületről történő leszakadása, leporlása vizuálisan megfigyelhető. Az ultrahangos kezelés után tízszeres deionvizes öblítést végzünk. Az így előállt aktív felületre szintén hipofoszfitos nikkel- 15 fürdőből egy másik nikkel réteget választunk le 92 °C hőmérsékleten 10 perc időtartamig. A mechanikai szilárdság megállapítására szakítási vizsgálatokat végzünk ultrahangos kezeléssel és ultrahangos kezelés nélkül előállított nikkel rété- 20 geken. A vizsgálatok eredménye egyértelműen azt bizonyította, hogy a fentiekben ismertetett ultrahangos eljárással készült nikkel rétegeknél a törés minden esetben a szilícium tömbön belül ún. kagylós törés formájában következik be, míg az ultra- 25 hangos kezelés nélküli nikkelezési módnál gyakori a réteg szakadás. 188 359 Szabadalmi igénypontok 1. Eljárás szilícium szelet nagy mechanikai szilárdságú fémréteggel történő bevonására kémiai redukcióval, amelynek során a szilícium szeletre először nikkel réteget választunk le, a nikkel réteget szintereljük és erre visszük fel a fémréteget, azzal jellemezve, hogy a szinterelési folyamat után a szilícium szeletet hidrogénfluorid és víz 1 : 1-2 : 1 arányú oldatába mártjuk, leöblítjük, és ezt követően vizes ultrahangos kezelésnek vetjük alá, majd az így kezelt felületre felvisszük a fémréteget. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatósítási módja, azzal jellemezve, hogy a szilícium szeletet 1-4 percre mártjuk be a hidrogénfluorid oldatba. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a szilícium szelet ultrahangos kezelésénél a frekvenciát 20 kHz-től 40 kHz-ig terjedő tartományban ciklikusan változtatjuk. 4. Az 1-3. igénypont bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a szinterelést argon, nitrogén, vagy hidrogén atmoszférában végezzük. 5. Az 1-4. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a fémréteg egy második nikkel réteg. 6. Az 1-4. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a 30 fémréteg arany. 7. Az 1-4. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a fémréteg palládium. Ábra nélkül 3
