187887. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és elrendezés előjelhelyes félvezető lineár kombinátor és/vagy átalakító kialakítására
1 187 887 2 — segítségével összeíntegrált digitál/analóg átalakító állítható elő', — segítségével összeintegrált analóg/digitál átalakító állítható elő, — nagy bemenő ellenállással rendelkezik és gyakorlatilag nem terheli a meghajtó fokozatokat, — kis bemenő ellenállással rendelkezik, így jól terhelhető, — az átalakítók fokozatainak és az összegző bemenetéinek jó minőségű párosítottsága és linearitása biztosi tható, — az átalakítók széles jeltartományban, jó felbontóképességgel rendelkeznek, — széles frekvenciatartományban üzemeltethetők, — előállításukhoz a félvezető gyártástechnológiában jól ismert kipróbált technológiai műveletek kombinációjára van szükség, — a bipoláris vagy MOS gyártástechnológiai módosításával elkészíthető, így könnyen tömeggyártásba vezethető, jó kihozatallal előállítható és így gazdaságosan gyártható. SZABADALMI IGÉNYPONTOK 1. Eljárás előjelhelyes félvezető linear kombinátor és/vagy átalakító kialakítására, melynek során félvezető alapanyagban diffúziós vagy implantációs eljárással az alapanyag felülete mentén n-p-n, vagy p-n-p bipoláris tranzisztorszerkezetet alakítunk ki, melynek felületén szigetelő réteget hozunk létre, majd a szigetelő rétegen a bázis feletti részen egy elektródát alakítunk ki, végül az emitter, bázis, kollektor réteg fölötti szigetelő rétegben kontaktus ablakot nyitunk, majd mindhárom réteget, valamint az elektródát kivezetéssel látjuk el, azzal jellemezve, hogy a szigetelő rétegen a bázis réteg felett egynél több egymással párhuzamos elektródát alakítunk ki, melyeket az emitter, a bázis és a kollektor réteghez hasonlóan külön-külön kivezetésekkel látunk el. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítás! módja, azzal jellemezve, hogy az elektródákat úgy alakítjuk ki, hogy az emitter rétegtől a bázis rétegen át a kollektor rétegig terjedjenek. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az elektródákat alumíniumból és/vagy poliszilíciumból alakítjuk ki. 4. Az 1-3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az elektródákat és a kivezetéseket egyidőben azonos anyagból készítjük el. 5. Az 1-3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy először az elektródákat készítjük el egy vagy több lépésben, majd . ezután hozzuk létre a kivezetéseket. 6. Az 1—5. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az emitter és a kollektor réteget diffúzióval vagy implantációval alakítjuk ki. 7. Az 1-5. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az emitter és bázis réteget diffúzióval vagy implantációval alakítjuk ki. 8. Elrendezés előjelhelyes félvezető lineáris kombinátor és/vagy átalakító kialakítására előnyösen az 1—7. igénypont szerinti eljárás foganatosítására, melynek félvezető alapanyagban lévő emitter-, bázis-, kollektor-, szigetelő rétege, továbbá a bázis réteg felett lévő szigetelő rétegen elektródája, valamint kontaktus ablakai és kivezetései vannak, azzal jellemezve, hogy a bázis réteg (12) felett lévő szigetelő rétegen (21) vezérlő elektródái (22a-22n) vannak, a félvezető alapanyagban (11) elhelyezkedő emitter-, bázis-,kollektor rétegnek (13,12,20), továbbá a vezérlő elektródának (22a—22n) kivezetései (17,15, 19,23a-23n) vannak (3-4. ábra). 9. A 8. igénypont szerinti elrendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az elektródák (22a—22n) egymással párhuzamosak (3—4. ábra). 10. A 8. vagy 9. igénypont szerinti elrendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a félvezető alapanyag (11) egyben a bázis réteg (12) (3-4. ábra). 11. A 8. vagy 9. igénypont szerinti elrendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a félvezető alapanyag (11) egyben a kollektor réteg (20), melyben az emitter réteget (13) tartalmazó bázis réteg (12) helyezkedik el (5-6. ábra). 12. A 8-11. igénypontok szerinti elrendezés, azzal jellemezve, hogy az elektródák szélessége megegyezik vagy egymásnak egészszámú többszörösei (5-8. ábra). 13. A 8—12. igénypontok bármelyike szerinti elrendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az emitter és kollektor réteg (13,20) távolsága lépcsőzetesen van kialakítva (8. ábra). 5 10 15 20 25 30 35 40 45 8 db ábra
