187713. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető amorf vékonyrétegek előállítására különösen félvezető eszközökhöz
187713 NSZ04: C 01 B 33/02! B 05 D 5/12 Relativ belső kvantumh atàsfok \ \ \ \ \ \ \ \ 1 » » t I » < I I ■ I_____I_____I_____i--------1 400 500 600 700 Hullámhossz, nm 9. ábra 13
/
