187713. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető amorf vékonyrétegek előállítására különösen félvezető eszközökhöz
. 187713 NSZ04: C 01 B 33/02; B 05 D 5/12 307 300 — ! !.. I h .iii.i ........^ii - 1. TTTi TT 3. à bra 400 405 k. ábra 5 .àbra il
/
