187713. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető amorf vékonyrétegek előállítására különösen félvezető eszközökhöz
(19) HU MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG A_ ] ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS B A bejelentés napja: (22) 1982. 03. 10. (21) I672/82 (33) (32) (31) A bejelentés elsőbbsége: US 198 . 03. 11. (242 707) A közzététel napja: (41) (42) 1984. 11. 28. ( Megjelent: (45) 1988. X. 31. di)187 713 Nemzetközi osztályjelzet: (51) NSZ04 C 01 B 33/02; B 05 D 5/12 ^^Találntín>^Szabadalmi Tár. ' . ' '■^Iulajdona Feltalálóik): (72) MacDIARMID Allan G. Pennsylvania, KISS Zoltán J. New Jersey USA Szabadalmas: (73) Chronar Corporation Princeton, Amerikai Egyesült Államok (54) ELJÁRÁS FÉLVEZETŐ AMORF VÉKONYRÉTEGEK ELŐÁLLÍTÁSÁRA KÜLÖNÖSEN FÉLVEZETŐ ESZKÖZÖKHÖZ (57) KIVONAT A találmány szerint egy szubsztrítumon félvezető-fém legalább egy gáz halmazállapotú polivegyületét tartalmazó gázkeverékből félvezető amorf vékonyréteget választanak le. A találmány szerinti eljárás lényege, hogy a vékonyréteg leválasztásához félvezető-fém 1-nél nagyobb polimerizációs fokú gáz halmazállapotú polivegyületét legalább 10 Pa nyomáson megbontják.
