187686. lajstromszámú szabadalom • Berendezés sik szubsztrátumra kiválasztott bevonó anyagból filmbevonat ráporlasztására és eljárás a berendezés üzemeltetésére
187 686 NSZ04: C 23 C 14/36 =FIG. 5 r////////// w/m/l/í/i.
/
