187686. lajstromszámú szabadalom • Berendezés sik szubsztrátumra kiválasztott bevonó anyagból filmbevonat ráporlasztására és eljárás a berendezés üzemeltetésére

r-152 4

187 686

NSZ04: C 23 C 14/36

(\J

tH

d

I—I

Fr

13