187686. lajstromszámú szabadalom • Berendezés sik szubsztrátumra kiválasztott bevonó anyagból filmbevonat ráporlasztására és eljárás a berendezés üzemeltetésére
ni) 187 686 (19) HU MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS B A bejelentés napja: {22) 1982. 02. 11. (21) 1243/82. A bejelentés elsőbbsége: (33) (32) (31) (PCT/US82-00171) 1981. 02. 12.(06/233 974) Nemzetközi osztályjelzet: (51) NSZ04 C 23 C 14/36 ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL A közzététel napja: (41) (42) 1983. 12. 28. Megjelent: (AS) 88.01.30. Feltalálóik): (72) Szabadalmas: (73) McKELVEY Harold E.. Plymouth, US Shatterproof Glass Corporation, Detroit US (54) BERENDEZÉS SÍK SZUBSZTRÁTUMRA KIVÁLASZTOTT BEVONÓ ANYAGBÓL FILMBEVONAT RÁPORLASZTÁSÁRA ÉS ELJÁRÁS A BERENDEZÉS ÜZEMELTETÉSÉRE (57) KIVONAT A találmány tárgya berendezés sík szubsztrátumra kiválasztott bevonó anyagból filmbevonat ráporlasztására, amelynek légteleníthető bevonó kamrája, a bevonó kamrába vízszintesen beszerelt katód van, a katódon belül mágneses eszköz van, továbbá a bevonó kamrában a szubsztrátumot vízszintesen alátámasztó és azt a porlasztóit anyag felfogására a mágneses eszköz előtt mozgató eszköze van. A találmány tárgya továbbá eljárás a találmány szerinti berendezés üzemeltetésére, amelynek során a csövet (31, 85, 101, 120) a porlasztás művelete alatt hossztengelye körül folyamatosan forgatjuk, és ily módon a porlasztandó anyag különböző részeit a porlasztáshoz a prolasztó zónába hozzuk, és egyidejűleg a sík szubsztrátumot (S, 172) a porlasztó zóna mentén folyamatosan mozgatjuk. (1. ábra)
