187220. lajstromszámú szabadalom • Eljárás mikroelektronikai alkatrészek hermetikusságának javítására
(19) HU MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS (11) 187220 SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY B Nemzetközi osztály jelzet: (51) NSz04 H 01 L 21/56 ÜÉI A bejelentés napja: (22) 19S3. 02. 23. (21) C14/S3 23/10 ORSZÁGOS TALÁLMÁNYT HIVATAL Közzététel napja: (41) (42) 19S4. 08. 28. Megjelent: (45) U toeteiWTir.-'V) 72) IF eltaláló (k): dr. KÉNYEI Zsolt, oki. vegyészmérnök, Budapest 28% dr. KALMÁR Gábor, oki. vili.mérnök, Budapest, 26% BARKÓ József, oki. fizikus, Budapest 2G% KIRSCH Ferenc, vili. üzemmérnök, Dunakeszi 20% (73) Szabadalmas: Mikroelektronikai Vállalat, Budapest (54) ELJÁRÁS MIKROELEKTRONIKAI ALKATRÉSZEK HERMETIKUSSÁGÁNAK JAVÍTÁSÁRA (57) Kivonat A találmány tárgya olyan eljárás, mely belső üreget nem tartalmazó mikroelektronikai alkatrészek, főként fém—műanyag tokozású mikroelektronikai alkatrészek vákuumtömörségének, illetve klíma állóságának javítására szolgál. Az eljárás a tokon lévő tomítetlenségek utólagos betöltésével valósítható meg. A találmány szerinti eljárásnak az a lényege, hogy a mikroelektronikai alkatrészek kapillárisaiban az impregnálási műveletek folyamán a légritkított teret a kapillárisokba bevitt egv 30—S0 °C közötti forráspontú oldószernek egy az előzőnél legalább 10 °C-kal nagyobb forráspontú impregnáló anyagban való kiforralásával, majd az impregnáló anyagban történő egj'üttes lehűtésével hozzák létre.
