187142. lajstromszámú szabadalom • Eljárás gázlézer kisülési cső előállítására és gázlézer kisülési cső
1 187 142 2 finomságúra megmunkált első és második kisülési cső végeire illesztett, hőkezelés után ragasztással rögzített első és második Brewster-ablakai, vagy első és második lézertükrei vannak. Célszerű az is, ha a kisülési cső Brewster szögben optikailag síkra csiszolt első és második kisülési cső végeire illesztett, sík alakú első és második Brewster-ablakai vannak. Célszerű még az is, ha a kisülési cső tengelyére merőleges, optikailag síkra csiszolt első és második kisülési cső végeire illesztett első és második lézertükrei vannak. Célszerű továbbá az is, ha az optikai gömbcsiszolattal ellátott kisülési cső első és második kisülési cső végeire illesztett, ugyancsak gömbcsiszolattal ellátott lézertükrei vannak. A találmány szerinti gázlézer kisülési csövet részletesebben rajz alapján ismertetjük, amely a találmány szerinti gázlézer kisülési cső néhány kiviteli alakját tünteti fel. A rajzon az 1. ábra a találmány szerinti gázlézer kisülési cső hosszmetszetét, a 2. ábra a Brewster-ablakokkal ellátott gázlézer kisülési cső hosszmetszetét, a 3. ábra a síkcsiszolatra felhelyezett homorú lézertükrökkel ellátott gázlázer kisülési cső hosszmetszetét, a 4. ábra a gömbcsiszolatra felhelyezett homorú lezértükrökkel ellátott gázlézer kisülési cső hosszmetszetét mutatja. Az 1., 2. ábrán hosszmetszetben látható gázlézer 11 kisülési csőnél a 12 első kisülési cső végén kialakított 16 első Brewster-csiszolatra a 14 első Brewster-ablak, a 13 második kisülési cső végén kialakított 17 második Brewster-csiszolatra a 15 második Brewster-ablak van felhelyezve. A lézer rezonátort alakitó 18 első és 19 második lézertükör a 11 kisülési cső két végén tengelyszimmetrikusan vannak elhelyezve. 20 pozitív és a 21 negatív nagyfeszültségű csatlakozón bevezetett feszültség hatására jön létre a 22 pozitív gázoszlopban a fényerősítés. Belső tükrös lézer kialakításánál a 14 első és a 15 második Brewster-ablakok helyére a 18 első és a 19 második lézertükrök kerülnek. A 11 kisülési cső 12 első és 13 második kisülési cső végére illesztett 14 első és 15 második Brewster-ablakok, vagy a 18 első és 19 második lézertükrök a hőkezelés után, pl. poliuretán lakkból álló 23 tömítő kötőanyaggal vannak rögzítve és tömítve. A 3. ábrán látható 11 kisülési cső kialakításánál a 13 második kisülési cső vég a 11 kisülési cső tengelyére merőleges irányban 25 síkcsiszolat van kialakítva, erre a 25 síkcsiszolatra van illesztve a 19 második lézertükör síkra csiszolt pereme. A 19 második lézertükör beállítását a 25 síkcsiszolaton való finombeállítással lehet elvégezni és ezt követően a 23 tömítő kötőanyaggal rögzíteni lehet. A 4. ábrán bemutatott 11 kisülési cső 13 második kisülési csővége 28 gömbcsiszolattal van ellátva. Erre a 28 gömbcsiszolatra van felhelyezve az ugyancsak gömbcsiszolattal ellátott 27 lézertükör. A 27 lézertükör beállítását ennél a kiviteli alaknál a 27 lézertükörnek a 28 gömbcsiszolaton történő finombeállításával lehet elvégezni és a beállítást követően a 23 tömítő kötőanyaggal lehet ebben a helyzetben rögzíteni. A találmány szerinti eljárás előnyei, hogy nincs szükség a kisülési csővégek elzárásához komplikált berendezésre, a Brewster-ablakok, vagy lézertükrök tisztasága a felillesztés alatt ellenőrizhető, így a gázlézer teljesítményét elsődlegesen befolyásoló Brewster-ablak vagy lézertükör tisztaság minden gázlézer kisülési csőnél biztosítható. Az eljárás alapján készített gázlézer kisülési cső élettartama 5000 óránál nagyobb. A találmány szerinti gázlézer kisülési cső előnyei, hogy a gázlézer céljaira megfelelő minőségű, tisztaságú és feszültségmentes Brewster-ablakok vagy lézertükrök alkalmazásával a gázlézer teljesítménye és stabilitása nagyobb, az egyes gázlézer kisülési csövek közötti minőségi különbségek kisebbek. A találmány szerinti eljárás előnyösen alkalmazható minden olyan vákuum- és gázkisülési cső előállításánál, ahol a kisülési cső végeire jó minőségű Brewster-ablakokat vagy lézertükröket kell felszerelni. Ez a feladat elsősorban a gázlézerek kisülési csöveinek előállításánál jeletkezik. A találmány szerinti gázlézer kisülési cső előnyösen alkalmazható mind laboratóriumi méréseknél, mind ipari feladatok megoldásánál és általában minden olyan helyen, ahol a gázlézerek teljesítménye és stabilitása fontos szempont. Szabadalmi igénypontok 1. Eljárás gázlézer kisülési cső előállítására, amelynek során a kisülési cső végeire Brewsterablakokat, vagy lézertükröket felragasztjuk, majd vákuumozás mellett hőkezeljük, azzal jellemezve. hogy a kisülési cső végein optikai finomságú csiszolatot készítünk, a csiszolatokat tisztítjuk, a csiszlatokra felhelyezzük a Brewster-ablakokat, vagy lézertükröket, a kisülési csövet 240-260 °C-on, előnyösen 250 °C-on legalább 6 órán át hőkezeljük, a hőkezelés alatt folyamatosan, például 10 3— 10“4 Pa nyomású vákuumot létesítünk a kisülési csőben, a hőkezelés után a kisülési csövet folyamatos vákuumozás mellett lehűtjük, a kisülési cső végeire Brewster-ablakokat, vagy lézertükröket rugalmas tömítő kötőanyaggal rögzítjük. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosílási módja, azzal jellemezve, hogy a gázlézer kisülési cső végeit Brewster-szögben optikai finomságúra csiszoljuk, vagyis a csiszolást a kisülési cső végeire felhelyezett próbaüvegen észlelt, maximum 1-2 interferencia csík megfigyelhetőségéig végezzük. 3. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a kisülési cső végein a kisülési cső tengelyére merőleges, sík alakú, optikai finomságú csiszolatot készítünk. 4. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja azzal jellemezve, hogy a kisülési cső végein gömbfelület alakú, optikai finomságú csiszolatot készítünk. 5. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a tömítő kenőanyagként, például poliuretán lakkot alkalmazunk. 6. Gázlézer kisülési cső, például az 1-5. igény -5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65