186203. lajstromszámú szabadalom • Eljárás berendezésorientált integrált áramkör fémezési maszkjának előállítására

ISö 2U3

NSZ04: H 01 L 21/28;

H 01 L 21/88;

H 01 L 21/96

11 12 14

4.ábra

7