186173. lajstromszámú szabadalom • Áramköri elrendezés túlterhelés megakadályozására félvezetők vizsgálatára szolgáló készülékben
i 86 ! 73 lalkozunk a 6 vizsgálteszköz, majd a meghajtó 1 feszükséggenerátor védelmével. A 6 vizsgálteszköz befogása után a 4 érzékenységbeállítóval a kívánt áramérzékenységet beállítjuk a 3 lebegő árammérő áramkörben. A 3 lebegő árammérő áramkör kimenő jele az átfolyó áram függvénye. A kimenőjel értéke a meghajtó 1 feszültséggenerátorról levett vizsgáló feszültségnek és az 5 áram-feszültséggenerátor által szolgáltatott bázisáramnak a függvénye. Ez minden mérésnél célszerűen 0-10 V között mozog. Ily módon a névleges mérési tartomány túllépését mindig a 10 V fölé emelkedés jelzi. Ezt a jelet hasznosítja a 2 iimitérzékelő áramkör. A 2 limitérzékelő áramkör a 3 lebegő árammérő áramkör felől érkező jelet összehasonlítja a 214 referenciafeszültség-forrás feszültségével. A referenciafeszültség túllépésekor a 212 feszültségkomparátor átbillen és a 211 tárolót is átbillenti. Utóbbi generálja a 21 kikapcsoló-kimenetén megjelenő kikapcsoló jelet, amely kikapcsolja a meghajtó 1 feszültséggenerátort és az 5 áram-feszültség generátor vezérlőfeszültségét. Ilyenkor a 7 vezérlőfeldolgozó egység működése folytatódik: az 5 áram feszültség generátor 51 vezérlőbemenetére érkező vezérlőjel hatására a következő bázisáramot szolgáltatja, ugyanekkor a 2 limitérzékelő áramkör 211 tárolója visszabillen alapállapotába. Ezáltal a mérés folytatódik. Éspedig, ha az új bázisáram magasabb a kikapcsoltnál, akkor a védelem ismét működésbe lép, ha alacsonyabb, a mérés folytatódik. Ezt szemlélteti a 4. ábra. Tehát a 6 vizsgálteszköz védelme nem szakítja meg a vizsgálat folyamatát. A meghajtó l feszültséggenerátor védelme viszont igen. A védelemre akkor van szükség, amikor a 3 lebegő árammérő áramkör 31 feszültségkimenetén lévő feszültség még nem éri el a 2 ümitérzckelő áramkörben a gyártáskor már beállított referenciafeszültség értékét, de à meghajtó 1 feszültséggenerátor kimeneti áramának maximumát igen. A védelem azonos az ismert megoldásokkal egyenáramú vizsgálat esetén. A 6 vizsgálteszköznek impulzus üzemben történő vizsgálata esetén a meghajtó 1 feszültséggenerátor áramterhelésének felső határát az 1122 sönt-ellenáliás és a vele sorba kötött 1123 kondenzátor kiterjeszti, mivel az impulzus üzemmód mellett csökken a meghajtó 1 feszültséggenerátor és a 6 vizsgálteszköz termikus terhelése. Impulzusáramú terhelésnél az 1122 sönt-ellenáliás és 1123 kondenzátor befolyására 1124 érzékelő- és az 1125 előtét-ellenállások közös pontjánál megjelenő impulzusok csökkentett amplitúdóval kerülnek a védelmet működtető 1121 tranzisztor bázisára. A kisebb amplitúdó hatására a kivehető áramimpulzus maximális értéke növekszik. A védelem működésbe lépését az 1121 tranzisztor jelzi és a 113 beavatkozó szerv korlátozza a végtranzisztorok vezérlését és a 11 kikapcsoló-kimeneten parancsot ad a 7 vezérlő-feldolgozó egységnek. Utóbbi pedig a mérést teljesen leállítja. Ilyenkor a displayn megjelenik a hibajelzés. A mérés csak a 6 vizsgálteszköz vezérlő áramának csökkentése után indítható újra. Működését az 5a és 5b ábra szemlélteti. Az 5a ábra a bemenője!, az 5b ábra a kimenőjel alakulását mutatja be DC és impulzus üzemmódban. A találmány szerinti áramköri elrendezés megva-5 lósította célkitűzéseit, nevezetesen:- az áramlimit beállítására szolgáló külön kezelőszerv' mellőzését,- tí.lvezérlés fellépése esetén a vizsgálteszközt automatikusan áramtalanítja, 10 - impulzus üzemmódban automatikusan érzékeli az üzemmódváltást és engedélyezi a csúcsáram megnövelését a megállapított arányban,- a meghajtó feszültséggenerátor védelmét biztosítja 'últerhelés ellen. 15 Szabadalmi igénypontok 20 1. Áramköri elrendezés túlterhelés megakadályozásába félvezetők vizsgálatára szolgáló készülékben. amely tartalmaz meghajtó feszültséggenerátort (1), amelynek kikapcsoló-kimenete (11) vezérlő-feldolgozó egység (7) kikapcsoló-bemenetéhez 25 (72), vezériőbemenete (12) a vezérlő-feldolgozó egység (7) első vezérlőkimenetéhez (71 ) csatlakozik, vizsgálteszközt (6), áram-feszültség bemenettel (61) és árambemenette! (62), azzal jellemezve, hogy tartalmaz limilérzékelő áramkört (2), amelynek ki- 30 kafesoló-kimenete (21 ) a meghajtó feszültséggenerátor (1) kikapcsoló-bemenetére (14) és áramfeszültséggenerátor (5) kikapcsoló-bemenetére (52), visszabillentő-bemenete (22) a vezérlő-feldolgozó egység (7) visszabillentö-kimenetére (73), fe- 35 sziltségbemenete (23) lebegő árammérő áramkör (3) feszültségkimenetére (31) és a vezérlő-feldolgozó egység (7) feszültségbemenetére (74) csatlakozik, a lebegő árammérő áramkör (3) árambemenete (32) a meghajtó feszültséggenerátor (I) feszültségkime- 40 netére (13) érzékenységválasztó bemenete (33) érzéki nységbcálliló (4) érzékcnységválaszló kimenetére (41 ), áramkimenete (34) a vizsgálteszköz (6) árambemenetére (62) van kötve, az áram-feszültség generátor (5) vezériőbemenete (51) a vezérlő-feldol- 45 gozó egység (7) második vezérlőkimenetére (75), áram-feszültség kimenete (53) a vizsgálteszköz (6) á am-feszültség bemenetére (61) csatlakozik. 2. Az 1. igénypont szerinti áramköri elrendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a limitérzéke- 50 lő áramkör (2) tartalmaz bistabil áramkörből felépített tárolót (211) fesziiltségkomparátort (212), potenciométerl (213) és referenciafeszültség-forrást (214); a tároló (211) egyik bemenete a limitérzékelő i ramkör (2) visszabillentö-bemenetét (22), kimene- 55 le a limilérzékelő áramkör (2) kikapcsoló-kimeneíét (21) képezi, másik bemenete a feszültségkompal átor (212) kimenetére van kötve, a feszültségkomparálor (212) egyik bemenete képezi a limitérzékelő iramkor (2) feszültségbemenetét (23), másik beme- 60 nete a potenciométer (213) leszedőjére, a potentiometer (213) két vége a referenciafeszültség-forrás (214) kimenetéire csatlakozik. 6 db ábra 3
