186159. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés tárgyfelületek geometriai paramétereinek meghatározására
1 186159 2 amellyel a vonatkoztatási nullsávot jelöljük, továbbá mérjük annak az interferencia szélsőérték felületnek a térbeli helyzetét, amely a jelzett nullsávnak felel meg, majd mérjük a harmadik koordináta mentén képződő összes interferencia szélsőérték felületek közötti távolság térbeli eloszlását, úgyhogy megállapítjuk a két koordinátával megadott pontban lévő nullsáv felületéhez képest a harmadik koordináta növekményét, és meghatározzuk a regisztrált képen a nullsáv és a szükséges pontban lévő sávok közötti távolságnak megfelelő érték és a szélsőértékek közötti értékeket. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a felületen az interferencia nullsávot két egymáshoz hasonló interferenciakép előállításával jelöljük be, amelyeknél az interferencia szélsőértékek térbeli eloszlásának a lefutása azonos, és egymástól csak konstans tényezővel különböznek és egymással oszthatatlan periódussal vannak kialakítva, továbbá a nullsávot úgy választjuk ki, hogy a két képben közös legyen. 3. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a tárgy felületének az interferenciaképet rövididejű impulzusokkal állítjuk elő. 4. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a regisztrált képben a sávszámokat vándorló interferenciasávval kiképzett járulékos kép segítségével határozzuk meg, aholis az interferenciasávok nagysága a regisztrált képnél sokkal kisebb és periódusideje a regisztrált kép sávperiódusával megegyezik vagy annak egész számú többszöröse, továbbá a járulékos képen a két koordinátával megadott pontokat folyamatosan letapogatjuk, és a regisztrált képpel kölcsönhatásban lévő járulékos képet villamos jellé alakítjuk át, és a sávszámot, amely egy egész és tört számból áll, a kapott váltóáramú jel fázisszögének és a regisztrált kép nullsávjában lévő pont fázisának különbsége alapján határozzuk meg. 5. Berendezés az 1. igénypont szerinti eljárás megvalósítására, amely berendezés két koherens fénynyaláb előállítására és vetítésére kiképzett optikai rendszert tartalmaz, aholis a két fénynyaláb egymással szöget bezáró síkban van a vizsgálandó felületre vetítve, továbbá tartalmaz fénysugárregisztrálót, a két koordináta-adó egységet, valamint a regisztrált interferenciakép sávszámának mérésére kiképzett egységet, azzal jellemezve, hogy a berendezés a tárgy felületén egy nullsávot kijelölő egységet, a fénynyaláb metszési tartományában lévő interferencia szélsőértékek síkjainak (16, 17) térbeli helyzetét, valamint a közöttük lévő fá- 5 zisszöget mérő egységet, egy tartóelemet (8), fotocellát (9) tartalmaz, amely a sugárnyalábok kereszteződésében van elhelyezve, továbbá tartalmaz a berendezés egy a felületi pont harmadik koordinátáját meghatározó egységet (10), amely tárolóval 10 (12) ellátott folyamatszámítógépet (II) tartalmaz, amelynek bemenete össze van kapcsolva a koordináta-adó egység (5), a sávszámmérő egység (6) és az interferencia szélsőérték síkjainak térbeli helyzetét és a közöttük lévő távolságot mérő elem (7) kimene- 15 teivel és úgy van kialakítva, hogy a nullsáv és a szükséges pont közötti sáv egész és törtszámban meghatározott értékének a függvényében a megfelelő metszethez tartozó két koordinátát összegzi, és a nullsáv felületének (17) ebben a metszetben lévő 20 koordinátáihoz hozzáadja és ennek alapján kiadja a harmadik koordináta abszolút értékét. 6. Az 5. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a sávszámmérő egység (6) koordinátaadókkal (30) és villamos hajtá- 25 sokkal (31) ellátott két szabadsági fokkal rendelkező koordináta-mérőasztallal (29) van ellátva, amelyen a regisztrátum (32) van elhelyezve, továbbá tartalmaz a vándorló interferenciasávok képének az előállítására kiképzett koherens és folyamatos 30 sugárforrással ellátott optikai rendszert, egy, az interferenciasávok egybehangolására kiképzett elemet (37), forgásszögadót (39), villamos hajtást (40), fényelektromos vevőt (44), amely azon sugár vételére van kiképezve, amely sugár a vándorló in- 35 terferenciasávok képének középső részéből azelőtt a sáv előtt, ahol a regisztrált képpel kölcsönhatásba lép, le van választva, továbbá tartalmaz a berendezés egy további fényelektromos vevőt (44), amely a sugarat a regisztrált képpel (32) együtt ér- 40 zékeli, egy fázisszög-digitális jelátalakítót (45), amelynek bemenetei a fényelektromos vevővel egy . rádiófrekvenciás szűrőn (46) keresztül vannak összekapcsolva, egy vezérlő mikroprocesszort (47), amelynek bemenetei a fázis-digitális átalakító (45) 45 kimenetével, a koordináta-asztal adóival és a forgásszögadóval (39) vannak összekapcsolva, kimenetei pedig a koordinátaasztal és az interferenciaképek egybehangolására kiképzett berendezés villamos hajtásával van összekapcsolva, cin 4 db ábra 9
