185984. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és elrendezés kapacitív érzékelő kialakítására, üzemszerűen változó hosszúságú vákuumkamrák vonalmenti kiterjedésének folyamatos érzékelésére

185 984

NSZ04: G 01 B 7/08

20 19 18

\ \\

15 16 14

lábra

11

12

13

15 16 14 13

2. ábra

5