185984. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és elrendezés kapacitív érzékelő kialakítására, üzemszerűen változó hosszúságú vákuumkamrák vonalmenti kiterjedésének folyamatos érzékelésére
1 185 984 2 A találmány tárgya eljárás és elrendezés kapacitív érzékelő kialakítására, Üzemszerűen változó hosszúságú vákuumkamrák vonalmenti kiterjedésének folyamatos érzékelésére. Ilyen vákuumkamrákat alkalmaznak abban az esetben, ha egy elmozdulást kompenzálva kell mérni - az erő kiegyenlítése is feladat a mérőeszközöknél - vagy például mágnesszalagos egységek szalagtáraként. A felsorolt esetekben a vákuumkamrával szemben a következő követelmények vannak: egy a kamrában lévő dugattyú mozgását - szalag esetén a szalag helyzetét - érzékelje és kompenzálja a dugattyú vagy szalag húzóerejét. Az ismert megoldásoknál a vákuumkamrában két fotoérzékelőt helyeznek el, melyek a végállásokat jelzik és ezáltal gyakorlatilag csak vezérlési lehetőséget biztosítanak arra az esetre, ha az érzékelőtől kapott jel hatására beavatkozni kívánunk egy adott rendszeren belül. Például szalagtár esetén ha kevés a szalag, egy feltöltési folyamat indítható, mely azonban csak akkor kerül leállításra, ha megtelt a vákuumkamra. Ilyen esetben - mivel teli van a vákuutntér- egy kiürítési folyamatot kell megindítani, mely addig tart, amíg a vákuumkamrából, illetve a szalagtárból a szalag ki nem fogy. Ekkor egy ellentétes folyamatot kell indítani. Vagyis a péídakénti esetben a szalag állandó mozgásban van, mert a vezérlésből adódóan folyamatosan töltünk vagy ürítünk. Ez a meghajtó egység számára egy folyamatos igénybevételt jelent. Abban az esetben, ha a vákuumkamrában a szalag pillanatnyi helyzetét érzékeljük, kisebb energiaigényű, pontosabb szabályozást tudunk megvalósítani. Ez a szalagot állandóan az optimális helyzet környezetében tarthatja, mely a szaiagigénybevétel szempontjából is igen előnyös. Hasonló problémával találkozunk akkor is, ha a vákuumkamrában egy dugattyú mozog, mely például egy tartály falához csatlakozik és annak az elmozdulásából a tartály pillanatnyi térfogatára vagy a benne lévő anyag mennyiségére keli eredményt kapnunk abból a célból, hogy bizonyos határok között tartsuk a tartály térfogatát, vagy a benne lévő anyag mennyiségét. Az ismert megoldás ebben az esetben is csak vezérlésre ad lehetőséget. A találmánnyal célunk a fentiekben vázoit valamennyi nehézség egyidejű kiküszöbölése és egy olyan érzékelő kialakítása, mely a vákuumkamra dugattyújának - vagy a szalag - továbbiakban vákuumkamra mozgó falának helyzetéről folyamatos információt ad. Ennek megfelelően a találmánnyal megoldandó feladatot a következőkben jelölhetjük meg. A kitűzött célnak megfelelően egy olyan elektromos érzékelő kialakítása, mely elektromos paramétereit változtatva folyamatosan jelzi a vákuumkamra mozgó falának pillanatnyi helyzetét. A találmány alapja az a felismerés, hogy ha egy kapacitás fegyverzetei közötti távolságot változtatjuk, a kapacitás értéke is megváltozik. Az eljárás során a vákuumkamra egyik falát az érzékelendő mozgási tartománynak megfelelő hosszban megbontjuk oly módon, hogy egy érzékelő nyílást vagy nyílásokat, pl. furatsort alakítunk ki, és az így kialakított érzékelő nyílás vagy nyílások fölött hozzuk létre a kapacitív érzékelőt úgy, hogy az érzékelő nyílás fölött a megbontott vákuumkamrát lezáró egy, a vákuum hatására elmozduló, ún. mozgó fegyverzetet, majd szigetelő réteget, végül pedig álló fegyverzetet helyezünk fel. A találmány értelmében célszerű, ha mozgó fegyverzetként rugalmas anyagot alkalmazunk. Nevezetesen célszerű, ha az álló fegyverzeten és szükség esetén a szigetelő rétegen is átszívó nyílást, vagy nyílásokat alakítunk ki, és az érzékelő fölött egy segéd vákuumkamrát hozunk létre, melyben a vákuum értéke kisebb, mint az érzékelendő kamrában. Célszerű továbbá, ha a segéd vákuumkamrában a vákuumot úgy állítjuk be, hogy egy átszívó nyílást alakítunk ki az érzékelendő vákuumkamra és a segéd vákuumkamra között, továbbá a segéd vákuumkamra falán egy beállító nyílást hozunk létre. A beállító és átszívó nyílások keresztmetszetét előnyösen úgy választjuk meg, hogy a segéd vákuumkamrában a szükséges értékű vákuum kialakuljon. A találmány szerinti elrendezésnél a vákuumkamra oldalfalán érzékelő nyílás, vagy nyílások, előnyösen furatsor van, amely fölött szigetelő réteggel elválasztott mozgó- és álló fegyverzet van. A találmány értelmében célszerű, ha a vákuumkamra oldalfala és a mozgó fegyverzet között érzékelő távtartó van. Nevezetesen célszerű, ha a mozgó fegyverzet rugalmas anyagból van. Célszerű továbbá, ha a mozgó fegyverzet és a szigetelő réteg mechanikusan rögzítve van egymáshoz. A találmány értelmében célszerű az is, ha a mozgó fegyverzet és a szigetelő réteg rugalmas anyagból van. Nevezetesen célszerű az is, ha az álló fegyverzeten fegyverzet nyílás vagy nyílások vannak, továbbá az álló fegyverzet felett segéd vákuumkamra van. Célszerű továbbá az is, ha az álló fegyverzeten és a szigetelő rétegen fegyverzet nyílás vagy nyílások vannak, továbbá az álló fegyverzet felett segéd vákuumkamra van. A találmány értelmében célszerű még, ha a szigetelő réteg és az álló fegyverzet között fegyverzet távtartó van. Nevezetesen célszerű még, ha a segéd vákuumkamra oldalfalán beállító nyílás van. Célszerű továbbá még, ha a vákuumkamra és a segéd vákuumkamra közös oldalfalán átszívó nyílás van. Nevezetesen célszerű még az is, ha a mozgó fegyverzet és a szigetelő réteg fémezett műanyag szalagból előnyösen fémezett mylar szalagból van. Célszerű továbbá még az is, ha egynél több vákuumkamra esetén az egyes vákuumkamrák érzékelői egyetlen közös segéd vákuumkamrában vannak. A találmányt részletesebben rajz alapján ismertetjük, amelyen a találmány szerinti elrendezés néhány péídakénti kiviteli alakját tüntettük fel. A rajzon az 1. ábra a találmány szerinti eljárás és elrendezés egy péídakénti kiviteli alakja, a 5 10 15 20 25 30 35 4 3 45 50 55 60 65 2