185984. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és elrendezés kapacitív érzékelő kialakítására, üzemszerűen változó hosszúságú vákuumkamrák vonalmenti kiterjedésének folyamatos érzékelésére
(19 )HU MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY 185 984 OR8ZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL A bejelentés napja: (22) 81. 11. 21. (21) 3482/81 » A közzététel napja: (41) (42) 1983. 12. 28. Megjelent: (Ab) 1987.05. 15. Nemzetközi osztályjelzet: (51) NSZO< G 01 B 7/08 Feltalálóik): (72) BODNÁR László 12%, KOMLÓS György 13%. LUKÁCS József- 12%. TAMÁS György II";,, villamosmérnökök. ZSEMBHRY Jenő üzemmérnök 13",,. SIMON Zollán technikus 15%, STEIDL József technikus 24%. Budapest Szabadalmas: (73) MTA Központi Fizikai Kutató Intézete, Budapest (54) ELJÁRÁS ÉS ELRENDEZÉS KAPACITÍV ÉRZÉKELŐ KIALAKÍTÁSÁRA, ÜZEMSZERŰEN VÁLTOZÓ HOSSZÚSÁGÚ VÁKUUMKAMRÁK VONALMENTI KITERJEDÉSÉNEK FOLYAMATOS ÉRZÉKELÉSÉRE (57) KIVONAT Az eljárás során a vákuumkamra egyik falát az érzékelendő mozgási tartománynak megfelelő hosszban megbontjuk oly módon, hogy egy érzékelő nyílást vagy nyílásokat, pl. furatsort alakítunk ki, és az így kialakított érzékelő nyílás vagy nyílások fölött hozzuk létre a kapacitív érzékelőt úgy, hogy az érzékelő nyílás fölött a megbontott vákuumkamrát lezáró egy, a vákuum hatására elmozduló, ún. mozgó fegyverzetet, majd szigetelő réteget, végül pedig álló fegyverzetet helyezünk fel. Az elrendezésnek a vákuumkamra oldalfalán (11) érzékelő nyílása (17) vagy nyílásai (17), előnyösen furatsora van, amely fölött szigetelő réteggel (20) elválasztott mozgó és álló fegyverzete (19, 21) van.
